中古 NIKON NSR S308F #293817909 を販売中

NIKON NSR S308F
ID: 293817909
ArF Scanner Numerical Aperture (NA): 0.92 Resolution: 70 nm DCO:  ≤8.
NIKON NSR S308Fは、高いスループットと生産レベルのパフォーマンスを実現するために設計されたウェーハステッパーです。このステッパーは、フィールドで実績のある8インチレンズを使用し、最大の光学性能を提供します。NSR S308Fには、最先端のUV照明装置が装備されており、最大25 mW/cm2の高速オートフォーカスが可能で、迅速かつ正確なアライメントが可能です。このウェハステッパーは、洗練された機械光学設計を活用し、各アプリケーションに最適な画質を実現することで、部品間変動を低減することを実証しています。また、イオンビームミリングサブシステムは、露出した表面を保護するために使用される効率的で正確なドライエッチング方法です。また、高度なニコンNSR S308Fは、さらなるオンサイトスループットを最適化するために設計されています。堅牢なPCベースのユーザーインターフェイスにより、ユーザーは迅速に結果を出すことができ、必要なすべての要件を満たしていることを確信しています。さらに、このシステムは、穴が掘削されている表面粗さ、角の角度、深さを高度に制御するために調整されたレーザー掘削穴充填プロセスで設計されています。さらに、NSR S308Fには、他の光学イメージングシステムに関連する面倒なアドホック調整を排除する高度な設計が付属しています。また、高度なHotCathode Ion Beam Gun Control機能を使用してメンテナンスを簡素化し、画像の露出を正確に制御する手段をユーザーに提供します。また、NIKON NSR S308Fは、スキャンモードとスキャンレスモードの両方を活用し、ウェーハスループットを最大化しています。このユニットは、コンデンサビームの1ショットで複数の複数のウェーハフォーマットを整列およびスキャンするだけでなく、高いアスペクト比パターンのスキャンレスステッパー/スキャンにも使用できます。さらに、ユニークな制約ビーム設計により、機械の効率的な性能がさらに向上し、より浅く均一なカーフウォールが作成され、パターニングの複雑さが軽減されます。要約すると、NSR S308Fウェーハステッパーは、高速オートフォーカス、洗練されたUV照明、イオンビーム加工サブシステム、レーザードリル穴充填プロセスなどの先進的な機能を組み合わせて、生産レベルのアプリケーションに最適です。
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