中古 NIKON NSR S308F #293776350 を販売中

ニコンNSR S308Fウェーハステッパーは、高度なフォトリソグラフィ用途向けに設計された最先端の露光ツールです。これは、オペレータの介入を最小限に抑えながら、優れた再現性と精度を提供する高精度で信頼性の高いプラットフォームです。このマシンは、それぞれ248nmと193nmの波長を持つユニークなKrF（クリプトン・フッ化物）とArF（アルゴン・フッ化物）パルス式エキシマレーザーを備えています。12-誘電体ミラー装置を備えた5軸アライナーは、サブミクロン登録とオーバーレイ性能を提供します。NSR S308Fは、6「基板ローディングステーションと8」ネイティブまたはハイブリッドマスクステージと高速オートフォーカスシステムを組み合わせています。また、NIKON Digital Super Resolution （DSR）技術を搭載し、正確な画像処理と正確なオーバーレイ登録を実現しています。この高度な技術は、最大露出フィールドサイズ355mmを提供することができます。ウェハステッパーは、25ナノメートルの精度を持つ2つの選択可能なイメージング方向を持つ高解像度イメージングユニットを採用しています。画像処理装置はDSRツールと組み合わされ、従来の画像処理システムよりもさらに細かい解像度で補正された画像を提供します。ニコンNSR S308Fは、精密な欠陥のない露出のために、高度なエアベアリング高動的基板ステージを備えています。低振動のL字型設計により、基板の正確なアライメントと優れた均一性を実現します。さらに、ウェハステッパーには、IM-net Modelモジュールを含む完全自動化アセットを装備することができ、リアルタイム欠陥検出によるエラーフリープロセス制御を提供します。また、NIKON Smart Managerソフトウェアを使用して、レシピの自動調整と高レベルのユーザーフレンドリーな操作を提供します。結論として、NSR S308Fは、精度と信頼性を提供する高性能ウェーハステッパーです。フォトリソグラフィーアプリケーションの重要な技術進歩として、このマシンは、優れた性能、最大露出フィールドサイズ、改善された欠陥検出および処理制御を提供します。