中古 NIKON NSR S308F #293758734 を販売中
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ニコンNSR S308Fウェーハステッパーは、フォトリソグラフィ加工用に設計された先進的なプロジェクターです。先進的な光学系を用いて感光基板上にパターンを作成します。このプロジェクターは、180 nmの解像度で8インチのフォトマスクを処理することができ、ファブリケーターはさまざまな業界のマイクロエレクトロニクスを構築することができます。NSR S308F Wafer Stepperは高精度で効率的で、部品の製造にかかる時間を短縮します。この機械は混合ステップ装置を使用して、パターンを基板に投影する際に高い均一性と精度を確保し、手動で調整する必要がありません。これにより、生産率が向上し、高品質の製品が得られます。また、隣接機器からの振動などの環境不安定性を検出・改善できる差動干渉コントラストシステムを搭載しています。NIKON NSR S308F Wafer Stepperは、クォーツオプティカルライトパスを使用して、均一な露出を最小限に抑え、品質管理を保証します。また、光学ユニットの歪みを最小限に抑えるために、特許取得済みの反射防止コーティングを備えています。このマシンには、エッジエラーをさらに低減する第2世代のアクティブレベリングツールも組み込まれています。さらに、オートフォーカスのオートトラッキングアセットにより、パターンがマスクテンプレートとまったく同じ場所に投影されるようになり、オートマットスケーリングモデルにより、ファブリケーターはパターンをマスクから完全にコピーすることができます。このマシンはまた、安全機能の広い範囲を提供しています。マシンエンクロージャは、迷光が製造プロセスに干渉するのを防ぐために光学系を隠します。必要に応じて直ちに生産を停止するための非常停止ボタンを装備しており、すべての電気部品は安全のために密閉されたスペースに別々に保管されています。独自のエアーブロー装置により、光路からのほこりをやさしく除去し、オプションのクリーンルームモードにより、ほこりの汚れを軽減します。NSR S308Fウェーハステッパーは、生産性の高い製造者に最適です。高度な光学制御と精密制御により、無駄を最小限に抑えた高精度で均一なパターンを作り出すことができます。さらに、その幅広い安全機能は、信頼性の高い動作を保証します。
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