中古 NIKON NSR S308F #293754616 を販売中

NIKON NSR S308Fは、高性能な生産レベルのウェーハステッパーです。優れたイメージング機能とスループットの向上を実現するように設計されています。S308Fには、非球面の結晶圧縮レンズ、高度な回折素子、非球面の反射鏡、超解像度シフトマスクで構成される高度な次世代光学機器が付属しています。この光学系は、接触層やデバイス構造に必要な高密度ファインパターニングの優れたパターン精度と精度を実現します。ステッパー独自のオートフォーカスアルゴリズムは、光学ユニットを自動的に調整し、ウェハ全体に正確なフォーカスを提供します。最大フィールドサイズは250mm、被写界深度は最大3。5muで、S308FはArF、 KrF、 DUV、露出漂白質量のイメージングなどあらゆるタイプのリソグラフィに対応できます。このS308Fは、ウエハイメージングを直感的に制御できる強力なWindowsベースのマシンで簡単に操作できるように設計されています。このツールはFabMasterのデータ入力とコンパイルとシームレスに統合され、最大1000枚のウェハイメージを保存できます。また、スキャナツールとプリンシパルCADシステムへの接続も含まれています。高レベルの生産性を確保するために、S308Fには、可変フィールドステッチ、特定の場所にCD-SEMマッピングを備えたリアルタイムイメージング機能、CD-SEMのエラーマーク検査、画像の明るさ、LER、 CDの均一性を向上させる画像補正機能などの高度な機能が含まれています。NSR S308Fは、メンテナンス要件を最小限に抑え、高レベルのパフォーマンスを実現するために設計された汎用性の高いウェーハステッパーです。その先進的な光学アセットと幅広いウェーハイメージングツールにより、さまざまなパターンの迅速なセットアップと信頼性の高いイメージングが可能です。使いやすいWindowsベースのモデルとCADおよび処理ソフトウェアとの統合も、その高効率と信頼性に貢献します。ニコンNSR S308Fは、生産レベルのウェーハステッパーアプリケーションに最適です。