中古 NIKON NSR S307E #9386223 を販売中

ニコンNSR S307Eは、高度なリソグラフィープロセス用に設計された高性能ウェーハステッパーです。高度な機能と技術により柔軟性と拡張性を提供し、リソグラフィのプロセスとパフォーマンスを向上させます。超精密な解像度、高スループット、および低コストの所有権を提供します。NSR S307Eは、小さなフィーチャーサイズと狭い公差で極めて微細なパターニングを必要とする製造プロセスに最適です。ウエハ径1。6mmから300mmまでの幅広い基板に対応可能です。ステッパーは最大200mm×200mmのフィールドサイズで、最小ピッチは0。075 µm、最小フィーチャーサイズは0。2 µmです。0。3nm〜0。5nmの解像度があります。NIKON NSR S307Eは、さまざまな先進的な機能と技術も提供しています。これは、正確なイメージングとアライメントを保証するオンツール光学校正システムと、He-Cd、 KrF、 I-lineなどの幅広い露光源を備えています。ステッパーには、完全に自動化されたフォーカスとアライメントシーケンス、およびレーザー干渉アライメントシステムも含まれています。NSR S307Eは、標準マスクと両面マスクから高反射マスク、パターン化マスクまで、様々なフォトマスク用に設計されています。また、アライメントの選択性、複数のパターニングオーバーレイ、オプションのクォーツマスク機能などの高度な機能も備えています。さらに、ステッパーは、一貫して高い生産歩留まりを確保するために、光均一性と欠陥検査で、多層プロセスも可能です。また、NIKON NSR S307Eは、その機能をさらに強化するために、さまざまなオプションやアクセサリーを提供しています。高アスペクト比エッチング、in-situ厚さ測定、および焦点深度の拡張のオプションが含まれています。ロータリー、モーター、コーディネートされたステージなど、さまざまなタイプのマニピュレーターにも使用できます。NSR S307Eは全体的に、先進的で使いやすいウェーハステッパーであり、高度なデバイスアプリケーションに必要な優れたリソグラフィ性能を提供します。高性能なイメージング機能、柔軟なフィーチャーサイズと解像度、正確なアライメント機能を提供します。特徴および付属品の範囲によって、それはあらゆる破片の生産プロセスのための理想的な解決を提供します。