中古 NIKON NSR S307E #293817908 を販売中
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ID: 293817908
Stepper
Numerical Aperture (NA): 0.85
Resolution: 80 nm
DCO: 15
Throughput (WPH): 112-160.
NIKON NSR S307E Wafer Stepperは、高度なイメージング性能と優れたスループットを提供するフルフィールドの光学ウェハステッパーです。これは、最も要求の厳しい生産環境のニーズを満たすように設計されています。NSR S307Eは、新しい5軸独立スキャン装置と5。5 μ mテレセントリックステップゾーンプレートレンズを備えており、非常に高解像度のパターンイメージングを可能にします。また、S307Eは5〜200mmの広い測定範囲と1〜5 μ mのステップサイズを備えており、正確な位置決めと高スループットを提供します。NIKON NSR S307Eは、先進的なLED光源とFocus/Glare/Slitイメージコントロールユニットを備えており、画質と均一性を向上させます。さらに、S307Eにはフィルムイメージングマシンが搭載されており、1回のスキャンでフィルム、ウェーハ、アライメント、検査を同時に行うことができます。このツールはフレームの安定性を維持し、アライメントエラーと検査時間を排除します。NSR S307Eは、自動校正アセットを備えており、校正時間を削減し、高速スキャナを備えているため、複数の基板を一度にパターニングできます。この高度に自動化されたマシンは、10分のフルウェハスキャン時間で、高速イメージングを可能にします。さらに、S307Eには強力なイメージングソフトウェアパッケージが装備されており、CAMデータ作成およびマスクレスリソグラフィ用のツールを提供します。全体として、NIKON NSR S307Eは、最も厳しい生産作業のための強力な処理およびイメージングツールです。高度なイメージング性能、強力なソフトウェアスイート、高スループットを備えたこのS307Eは、生産用に利用可能な最先端のウェーハステッパーの1つです。S307Eは、スピード、精度、精度の完璧な組み合わせを提供し、完全なイメージングソリューションを提供します。
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