中古 NIKON NSR S306C #293822797 を販売中

NIKON NSR S306Cは、半導体ウェーハ上の集積回路を製造するために使用されるウェーハステッパーです。このマシンは、その汎用性のために特に有利です。直径300mmまでのウエハ加工が可能で、超薄型レジストや非標準基板にも対応可能です。NIKON NSR-S306Cは、30nm以下の分解能と高度なアライメントと計測機能を提供します。レベル1変位制御装置を備えており、プロファイリングおよびロギング機能によりサブナノメートルの精度を維持し、結果を詳細に追跡します。統合スキャン機能により、オペレータは露出をシミュレートし、最高レベルの精度と再現性を必要とする複雑なプロセスのパラメータを保存できます。NSR S306Cは、高度なリソグラフィ用途に最適です。ファルコン（フレキシブルオートローダー）システムを搭載しており、ウェーハをトラックから出し入れすることができます。これは、接触汚染を防ぎ、潜在的な問題をユーザーに通知するように設計されています。機械の高度な干渉計またはIラインは、焦点の位置を測定し、オブジェクトを整列させ、焦点のずれを防ぎます。さらに精度を高めるために、ResCon機能を備えており、サーマルドリフトと振動の影響を最小限に抑えます。障害のない操作のために、ステッパーにはPUMAユニットがあります。この高度なプロセスコントロールマシンは、1時間あたり240のステップを実行でき、自動的な事前最適化と最適化を提供します。また、一貫性と精度で各露出のアライメントをチェックし、プロセスのパフォーマンスをさらに向上させます。NSR-S306Cには、U2EのFPD処理ツールの強力なペアがあります。これにより、オブジェクトを最大11µmまで画像化できるため、解像度が少なくとも2倍以上の高いスループットを実現し、より小さなフィーチャーデザインに最適です。まとめると、NIKON NSR S306Cウェーハステッパーは、直径300mmまでのウェーハ上の集積回路を処理するための効率的で汎用性の高い機械です。それにサブ30nmの決断、高精度、汚染防ぐFALCON用具、高度の干渉計および理性的なPUMAの資産があります。さらに、このマシンは高効率のU2E FPDプロセスツールでより高いスループットに使用できます。