中古 NIKON NSR S306 #9114893 を販売中

ニコンNSR S306ウェーハステッパーは、半導体業界で使用されるリソグラフィ加工用の精密機器です。150mm〜300mmのウエハに、ナノレベルの精度でパターンを揃えるように設計されています。NSR S306には、投影光学ステージ、高精度ステージ、スリットスキャン技術、および空間光モジュレータ（SLM）デジタルマスクが含まれています。業界をリードする26nmハーフピッチの解像度を備えています。投影光学ステージには、非球面ガラス対物レンズと高度な広角光学システムが含まれています。高度な光学ユニットは、光が正しく投影され、光収差がないことを保証します。投影光学ステージには、クイックアライメントのためのオートフォーカス機構もあります。高精度のステージにより、ナノレベルの精度が得られます。これは、クローズドループのモーションコントロールマシンと耐熱スキャンステージによって達成されます。また、ウェーハの取り扱い機構も備えており、サイズや厚さを問わず簡単にウェーハを取り込めるようになっています。スリットスキャン技術は、ディスプレイパターンの再現性と正確なシェーピングを提供し、最大600kHzの写真彫刻の繰り返しサイクルでスキャンすることができます。また、低線量のスリットイメージングにも使用され、画像アーティファクトを最小限に抑えて鮮明な画像を提供します。SLMデジタルマスクは、ウェーハに投影される照明パターンを生成するために使用されます。このマスクは、光が目的のパターンを回折して形成することを可能にする特別な材料で構成されています。NIKON NSRS 306ウェーハステッパーは、使いやすく高精度な信頼性の高い精密工具です。それは優秀な性能を提供し、大量のリソグラフィの生産のために完全です。この資産は、研究開発と量産アプリケーションの両方のために設計されています。