中古 NIKON NSR S306 #120927 を販売中

NIKON NSR S306は、集積回路（IC）マスクの製造に使用されるフォトリソグラフィ装置です。このシステムは、高解像度、サブミクロンのアライメント、登録、オーバーレイ機能に特化して設計されています。NSR S306は、ベアウェーハ、フィルムオンウェーハ、マイクロデバイス、および高度なICパッケージング歪み補正などのアプリケーションに対応するように設計されています。堅牢なNIKON 5X倍率と高解像度ステッパスキャンを採用しており、ライン幅の小さいデバイスの作成に最適です。このツールは、深紫外線（DUV）とXeon照明にも対応しています。NIKON NSR S306は、12インチのフィールドサイズ、1。06nmの解像度、1/50ミクロンのアライメント精度、210ウェーハ/時間の最大スループットなど、幅広いアプリケーションと高性能動作を提供します。フィルム・オン・ウェハアプリケーションの場合、アセットは厚さ0。25 μ mまでのさまざまな種類のフィルムを処理でき、0。3ミクロン未満のライン幅を露出して処理することができます。さらに、モデルの加速と減速が調整可能であり、装置は低いステップディスターバンスと超高速で処理することができます。NSR S306は、極めて大きな機能を処理することができる、軸外照明も備えています。また、高速CoaXPress Cameraを搭載しており、細かく複雑なアライメントと登録アプリケーションに対応しています。NIKON NSR S306は、カセットファシリテーションからピックアンドプレイスオペレーションまで、完全に自動化された精密なウエハハンドリングを誇っています。ウェーハの反りやボトミング補正に加え、ウェーハID、メトリックデータ、ステージキャリブレーションを各ウェーハごとに個別またはウェーハのバッチで行うことができます。NSR S306には、オフラインでの処理結果を正確に評価できる高度な画像処理解析ソフトウェアが搭載されています。このソフトウェアは、ウェーハの限界または損傷したウェーハと欠陥領域を自動的に検出し、ユーザーがあらゆる欠陥を迅速かつ正確に検出できるようにします。ユニットの他の機能には、自動レチクルオフセット、高度な光学系、電子冷却などがあります。NIKON NSR S306は、高度なIC生産要件に最適で、優れた精度、表示、自動化を提供します。さまざまな用途や処理速度において極めて柔軟性があり、高度なIC包装歪み補正、優れた線幅制御、照明、アライメント、登録、ウエハハンドリングなど、多くの用途に適しています。