中古 NIKON NSR S208D #293812960 を販売中

ニコンNSR S208Dウェーハステッパーは、高度な製造アプリケーション向けに設計された高性能リソグラフィ装置です。最先端の光学システムを備えており、0。08 μ mから20 μ mまでの露光が可能です。また、S208Dにはニコン独自のPPS （Pulse Power Supply）技術も組み込まれており、最適な露出エネルギー制御を実現し、ウェーハ全体のプロセス分散を低減します。最大スループットを確保し、ソリューションのアライメント時間を短縮するために、アグレッシブ露出アライメント範囲は+/-0。2 μ mです。NSR S208Dのその他の機能には、204 mmの視野、最大460mmのテーブルサイズ、および1ダイスあたり最大45のダイスが含まれます。さらに、新たに設計された回折限界コーティングユニット（DLC）をS208Dし、ウェーハ上の極めて均一なコーティングパターンを再現性に優れています。このDLCマシンは、露光時間の短縮、ウェーハの反りの防止、パーティクル制御の改善など、特定のプロセス要件を満たすようにカスタマイズできます。S208Dには、新しいOne Shot Ready Inspection （OSRI）機能を含む革新的な検査機能もあります。これにより、露出データのリアルタイム検査と比較が可能になり、精度が向上します。このツールは、プロセスが完了する前に露出エラーを検出して修正することができ、より高い精度の要件に最適です。さらに、S208DはPhotoshoprの統合もサポートしており、ユーザーは独自のデザインを作成またはインポートできます。設計全体を通して、S208Dはスループットと精度の両方を強調しています。高精度の光学および効率的なアセットアーキテクチャに加えて、堅牢な温度制御ユニット（TCU）は、非常に正確な温度制御を保証します。これにより、均一な露出再現性が確保され、サーマルドリフトが最小限に抑えられます。また、S208Dにはリアルタイムプログラム/データの更新があり、メンテナンスや予防メンテナンスが容易に行えます。ニコンNSR S208Dウェーハステッパーは、高度なリソグラフィ用途向けの信頼性と強力なソリューションです。その機能はスループットと精度を最大限に高め、高度な検査機能は品質管理を保証します。