中古 NIKON NSR S208D #293629357 を販売中

NIKON NSR S208Dは、マイクロリソグラフィーアプリケーションに最適な高度な機能を備えた専用ウェーハステッパーです。0。5 nmの精度で完全に自動化されたレチクルアライメント装置、最大6インチの露出サイズ、最小0。2 µmのフィーチャーサイズを備えています。さらに、1。5 nmの最大アライメント精度により、イオンビームを1つの穀物境界のような小さな領域に向けることができます。このシステムは、8〜6インチから16〜12インチまでの範囲の露出フィールドサイズ×スキャン×ことができます。また、最大1Hz〜10Hzのウェハステッピング速度を可能にする可変速度リニアドライブユニットを備えており、投影を増加させることなく、最大1kHzの露光周波数を実現しています。1ステップあたりの露出時間は通常1秒以下です。露出時間は、各ユーザーの特定の露出要件を満たすために調整することもできます。NSR S208Dには、露光波長の範囲があり、合計で8つの選択肢があり、最大波長は248 nmです。さらに、このウェーハステッパーには、露出時間を最小限に抑えて露出結果を最適化するように設計されたフィルムおよびマキュラチュアプロセス制御用のフルオートメーションマシンがあります。この機能により、無駄の少ない正確で再現性の高い結果が得られます。さらに、この資産に存在するイオンビーム低減ツールは散乱光の影響を大幅に低減し、歩留まりを向上させます。また、パターン露光バリエーションやデバイスプロセス要件においても高い汎用性を提供します。これにより、デバイスウエハの製造やプロセス制御に関する様々な作業に適しています。また、軽量でわずか112kgであるため、ステップタイプのパターンを簡単かつ正確に自動化できます。ニコンNSR S208Dウェーハステッパーは、改良されたモデルのチップマンにより、アライメントを停止および位置合わせする必要なく連続露出を提供します。これにより、さまざまなマイクロリソグラフィー用途向けの効率的なソリューションとなります。また、NIKONイメージソフトウェアから完全に制御可能であり、イメージング処理および解析のための堅牢な顕微鏡システムを備えています。NSR S208Dウェーハステッパーは、マイクロリソグラフィー用の信頼性の高い汎用性の高いユニットであり、大量のデバイス製造作業の範囲に適しています。自動化されたリチクルアライメントマシン、高精度、および露出範囲により、ウェーハステッパーのニーズに最適なソリューションです。