中古 NIKON NSR S207D #9391602 を販売中

NIKON NSR S207Dウェーハステッパーは、半導体デバイスの製造に使用される高精度リソグラフィのためのツールです。デバイス製造ファウンドリ、研究開発ラボ、教育機関に最適です。この装置は、コスト、精度、およびスループットに最適化されています。このシステムは、2つの主要コンポーネント、高度な光学投影ユニットと基板移動用のモーター付きx/yステージで構成されています。また、基板の迅速な交換のためのオートローダも含まれています。光投射機は精密光学レンズツールと電気光学変調用のステッピングモータで構成されています。この光学系は最大20枚のミラーとレンズで構成されており、凸、凹面、無色光学の光学系が組み合わされ、アセットと共に納入されます。光学は低い収差、高い光学決断およびよいイメージの質によって特徴付けられます。高度なステッピングモータにより、高精度なステージ位置制御とレンズ回転が可能です。モーターを備えたx/yステージは、精度と速度を考慮して設計されています。それはデジタル制御されたステッピングモーターによって運転され、高度の動き制御を特色にします。ステージは400 mm x 400 mmの範囲を持ち、0。7 μ mの精度に制御された500 mm/sの急速な動きを提供することができます。ステージには、落下防止とクラッシュ防止も含まれています。オートローダーは、レチクルとガラス板の保護だけでなく、自動運転のための基板の迅速な交換を可能にします。結論として、NIKON NSR-S207Dウェーハステッパーは、デバイス製造に理想的なリソグラフィーツールであり、高精度とスループットを提供します。精密光学投影モデル、モーター式のx/yステージ、および素早い基板交換用のオートローダを備えています。この装置は、多くの種類の半導体デバイスのコスト効率と正確な製造のために設計されています。