中古 NIKON NSR S207D #293817914 を販売中

ニコンNSR S207Dウェーハステッパーは、半導体デバイスの製造に使用される高性能の光学リソグラフィ装置です。それは0。22 μ mの決断の高いacuityパターンのために設計されています。ステッパーの機能には、ウェーハパターニング中の正確な深さ制御も含まれています。NIKON NSR-S207Dは、発売時に業界最高の分解能の光学技術のために設計されています。高度なCCDイメージング装置は、しばしば「オフセットチョッパー」と呼ばれ、高効率のイメージングシステムとして使用されます。このユニットには、単一のウエハを露出するための2つの独立したCCDが含まれています。これにより、複数のフィールド間で必要な登録精度が得られ、ウェーハパターニングの品質が保証されます。ステッパーは、ウェーハとレチクルの正確なアライメントと位置決めのために6軸で構成されています。加工チャンバー内の位置決めと配置は、高度で高精度な位置決め機によって制御されます。統合された自動キャリブレーションツールにより、最適なウェーハ配置精度と再現性が保証されます。さらに、NSR S207Dの特徴は、露光プロセス中のウェーハ深度を正確に制御できる精密Z軸アセットです。このモデルは、複数のフォーカスレベルを必要とする厚い基板の処理に特に役立ちます。NSR-S207Dはまた、手動で介入することなく、レンズやレチクルなどのステッパー部品の交換を可能にする自動交換装置で設計されています。これにより、手動交換に起因するエラーや不一致の潜在的な原因が排除されます。ステッパーには、より高いスループット、利便性、および改善された人間工学を提供する複数のオートメーションオプションがあります。ステッパーの複数のアニメーションオプションは、ウェーハのセットアップ、ロード、アンロードを非常に迅速かつ便利にします。高度なレチクルアライメントシステムは、露出中に正確に登録するためにウェーハとレチクルを正確にアライメントすることを可能にするもう一つの重要な機能です。NIKON NSR S207Dは、メンテナンスの必要性を最小限に抑え、信頼性の高い設計となっています。ステッパーのアクティブ温度制御ユニットは、機械の部品がプロセス全体にわたって所定の温度範囲内にとどまることを保証します。最後に、NIKON NSR-S207Dは、複雑なプロセスのセットアップとメンテナンス作業を簡素化するユーザーフレンドリーなインターフェイスを備えています。