中古 NIKON NSR S207D #293811115 を販売中

NIKON NSR S207Dは、最新の半導体製造のニーズに応えるために設計された高性能ウェーハステッパーです。このマシンは、ステッピングリソグラフィ、マスクアライナー、パターニング操作に使用できるオールインワンプラットフォームです。標準生産時には直径8インチまで、高度な用途には最大200mmまで対応可能です。ステッパーには高度なニコンオプティクスが搭載されており、超低消費電力と画質向上に最適化されています。ステップとリピート機能により、幅広い基板にわたって一貫したオーバーレイとパターニングが可能です。NIKON NSR-S207Dは、半導体製造における模範的なパターニング精度を実現するために設計されています。高精度な光学設計により、非常に長く安定したイメージング特性を確保し、最大0。42 µmの解像度を実現します。ステッパーはまた、精度と再現性を向上させるために、スキャナーモータ制御システムとガルバノメトリックミラードライブを利用しています。フィールドサイズの最短マージンのための±0.5µmの高い再現性を提供するように設計されています。機械は自動化された操作のために最適化され、迅速なセットアップと高スループットを保証します。そのユーザーフレンドリーなデザインは、生産作業の便利な制御と管理のためのさまざまな接続オプションを備えています。NSR S207Dでは、自動フォーカスキャリブレーション、自動計測、プロセス制御、追跡、アライメントなど、多くのジョブコントロール機能も提供しています。NSR-S207Dは、最大のプロセス制御と歩留まりを提供するように設計された信頼性の高いウェーハステッパーです。それは優秀なイメージの質および高いスループット操作を提供するために高度の光学および動き制御システム結合です。機械の堅牢な構造により、ダウンタイムを最小限に抑え、一貫性のある正確で再現性のある結果を保証します。