中古 NIKON NSR S207D #293587213 を販売中

NIKON NSR S207Dは、今日の高度な半導体製造における超小型フィーチャーパターニングの要求を満たすように設計された最先端の高精度ウェーハステッパーです。最大解像度0。3ミクロン、最小ステップ時間1ms、オールインワン露光フィールドサイズのS207Dは、ファインピッチおよび高密度デバイスアプリケーションに最適なツールです。革新的なデュアルステージソースレンズシステムを搭載したS207Dは、優れた露出均一性と高いスループット性能を提供し、幅広いウエハサイズに対応します。電動露光距離と対物レンズのシフトにより、一定の空中画像強度が確保されます。一方、超短波長の短波長SCRF露光システムは、業界最高の単一露光スループットを達成するのに役立ちます。このS207Dには、あらゆる種類のリソグラフィ要件に対応するための幅広い露光技術が装備されています。これらには、MAPSYN、 LEAP、 SEM-LIG、 Flip露出技術、および最大の精度と迅速なプロセスを保証する専用ウェーハおよびマスクアライナーが含まれます。また、S207Dは、各プロセスが特定のデバイスタイプに最適化されていることを確認するために、多数の露出プロファイルをサポートしているため、幅広いプロセスに最適です。その印象的な露出性能に加えて、S207Dはまた、その操作を合理化するように設計された機能の数を備えています。これらには、完全にモジュール化された保守可能な設計が含まれており、さまざまな場所に迅速に設置およびサービスを提供できます。また、S207Dは高度なオートメーションパッケージを備えており、ウェーハマウント/マウント解除、露出、ウェーハ処理などの完全自動化されたウェーハ処理を可能にします。NIKON NSR-S207Dは、高度な半導体製造処理に最適なソリューションです。優れた性能、完全なオートメーションパッケージ、優れたスループットにより、超小型フィーチャーパターンの効率的で費用対効果の高い生産を保証するのに最適なツールです。