中古 NIKON NSR S207 #293641824 を販売中

NIKON NSR S207
製造業者
NIKON
モデル
NSR S207
ID: 293641824
ウェーハサイズ: 12"
KrF Scanner, 12"
ニコンNSR S207は、半導体業界でIC(集積回路)の製造に使用される精密機器です。これはウェーハステッパーであり、リソグラフィープロセスを使用してICの顕微鏡要素のパターンをウェーハに転送するために使用されることを意味します。NSR S207は、光学カラムとXYステージの2つの主要なコンポーネントで構成されています。光学柱は光源、レンズ、シャッターで構成されています。光源はエキシマレーザーまたはメタルハライドランプであり、その目的はリソグラフィープロセスに望ましい波長の光を提供することです。レンズとシャッターは、ウェーハに伝わる光の量を集中して調整するために使用されます。XYステージは、ニコンNSR S207のもう一つの主成分です。ウェーハと光学カラムを動かす電磁アクチュエータである2つのモーターと2つのステージで構成されています。ステージは、ウェーハと光学カラムの正確な移動を可能にし、目的のパターンをウェーハに転送することができます。NSR S207には、多くの高度な機能も搭載されています。ステッパーにはビジョンシステムが組み込まれており、高度なカメラ技術を使用してリソグラフィ処理の前後にウェーハの画像を解析します。これにより、転送されるパターンが正確で最高品質であることが保証されます。ステッパーは、ウェーハの積み下ろしを自動化するためのロボットアームと統合することもできます。ニコンNSR S207は、極めて精密なリソグラフィを必要とする生産ラインに最適なツールです。その高度な機能は、高品質のICを製造するために使用できる信頼性の高いソリューションをユーザーに提供します。
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