中古 NIKON NSR S206D #9207363 を販売中

ニコンNSR S206Dウェーハステッパーは、半導体産業で集積回路の製造に使用される高精度フォトリソグラフィ装置です。投影アライナー、ウェーハステージ、高解像度対物レンズ、露光ランプで構成されています。プロジェクションアライナーは、リソグラフィ精度の高い高NA光学系を使用することができます。ウェーハステージは、一貫して正確な大域動作を制御することができます。これらの特徴は、対物レンズの高解像度光学系と組み合わせることで、ハイエンド基板に適したS206Dとなり、優れたイメージング精度を実現します。また、オートフォーカス機能を搭載しており、毎回ウェーハパターンを正確に画像化するとともに、明るく均一な照明を実現する高性能露光ランプを搭載しています。これにより、S206Dの優れたラインとスペースの精度と一貫したパターン充填品質が得られます。精密制御と高効率レンズを内蔵しているため、S206Dはワンショット露出による正確なパターニングも可能です。また、フルステッパー/スキャナのような操作をサポートし、生産コストの削減に役立ちます。NSR S206D Wafer Stepperは、2次元（XY）ウェーハ翻訳機、クォーツウェーハボウル、PCベースのタッチスクリーン操作など、直感的で使いやすい機能も備えています。同様に、このツールは正と負の両方のステッピングマスクと互換性があり、ユーザーが作業をより大きく制御できます。さらに、リアルタイムウェーハ表面とカメラセンサ温度監視を可能にする機能を備えており、正確なプロセス制御が可能です。全体として、NIKON NSR S206D Wafer Stepperは、幅広い用途や技術に適した強力で高精度なフォトリソグラフィ資産です。内蔵の機能とコントロールにより、ユーザーは優れたイメージング精度、均一な照明、フルステッパー/スキャナ機能を期待できます。直感的でユーザーフレンドリーな機能は、これまでにない制御と利便性を提供します。