中古 NIKON NSR S206D #293817917 を販売中
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ID: 293817917
KrF Scanner
Numerical Aperture (NA): 0.82
Resolution: 130 nm
DCO: 20
Throughput (WPH): 88-147.
NIKON NSR S206Dは、正確な露光制御と優れた画質を提供するために設計された高性能ウエハステッパーです。フォトマスク露出、フォトリソグラフィ、IC加工などのリソグラフィ用途に最適です。これは、最も要求の厳しい半導体プロセスとデバイス製造のニーズを満たすように設計されています。このステッパーは、ニコン独自のフレックスフォーカスレンズや新しいリダクストディメンジョン(RD)アライナーなどの先進技術を使用して、正確なオーバーレイ精度と高解像度のリソグラフィ結果を提供します。NSR S206Dは、従来のフォトマスク基板に加え、ガラス、シリコン、サファイアなどの大型基板にも対応可能です。また、5x5ミクロン、429x429micronと幅広い露光領域を有し、複雑なパターンの正確なリソグラフィ露光を可能にします。また、ニコンNSR S206Dは、ニコン独自のインターバルステップモード(ISM)アライメントシステムを採用しており、露光およびアライメントプロセスの正確な速度調整を可能にし、両者の間の相関関係を高めています。さらにNSR S206Dには、高度なプロセス制御および管理ソフトウェアが搭載されており、ユーザーはリソグラフィ露光などのプロセスを制御および監視することができます。このソフトウェアはまた、ユーザーが最大の歩留まりと精度を達成するために、自分のリソグラフィ暴露やその他のプロセスを最適化することができます。ニコンNSR S206Dは、業界をリードするドリフト補償システムを搭載しており、より正確で正確なリソグラフィ結果を得ることができます。NSR S206Dは、優れた信頼性、精度、生産性を提供するように設計されており、最も要求の厳しい半導体プロセスおよびデバイス製造アプリケーションに最適です。高度な露光コントローラとプロセスコントローラにより、ユーザーは正確な露光制御を実現し、露光問題を排除し、露光時間を短縮し、高解像度のリソグラフィ露光を実現できます。さらに、さまざまな機能、ユニークな構成オプション、優れた画質により、最も汎用性の高い正確なウェーハステッパーの1つです。
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