中古 NIKON NSR S206D #293794196 を販売中

NIKON NSR S206D
ID: 293794196
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ニコンNSR S206Dは、コスト効率の高いリソグラフィと高スループットを実現するウェーハステッパー装置です。NSR S206Dは、主に半導体デバイスの製造に使用され、生産を合理化する高度な性能を提供します。この半導体リソグラフィーシステムは、200mmウェーハ処理能力、365nmの光子ソース波長、最大露出5。1 um、最大1280ウェーハ/時間高スループット、0。2nmステップサイズ、10nmリピータビリティ、5nmショットの登録精度など、幅広い機能を備えています。NIKON NSR S206Dの高度な機能には、Optoelectronic MacroWEDTM Reticle、不透明なグラファイトマスク、高精度の10ビット自動アライメントユニット、および最大0。18um。このデバイスはまた、レーザービームコントラストが低く、収差のないマスクパターンを提供し、正確で一貫したリソグラフィ結果を提供します。高速なウェーハ処理機能により、このツールは迅速かつ正確なウェーハ処理を保証することができます。ステッパーには、デジタルイメージング資産とハイコントラストの黒い反射コーティングが含まれており、ウェーハ上の各ショットの正確かつ正確な露出を保証します。また、機密部品を保護するための幅広い安全機能と、作業負荷を低減する包括的なメンテナンス機能を備えています。NSR S206Dは、高度な機能に加えて、露光時間とパフォーマンスを最適化するためにビームオン時間を調整することができるダイナミックイオンビームモデルも備えています。この機能は、大量の生産プロセスで作業する場合に特に便利です。NIKON NSR S206D Wafer Stepperは、大量の半導体リソグラフィのための高度で費用対効果の高いソリューションです。このデバイスは、高性能、合理化されたウェーハ処理、さまざまな安全機能のおかげで、使いやすく信頼性の高いリソグラフィ機器を探している半導体メーカーに適しています。
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