中古 NIKON NSR S206D #293759609 を販売中
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ID: 293759609
Scanner
MCSV Basic
OCS Option
Tool version
Reticle loader
Stage
Wafer loader
Lens controller
VRA, SRA Reticle alignment
LSA, FIA Wafer alignment
Multiple auto focus
GIGAPHOTON G40K2-1 KrF Laser
BMU
DD Box
PPD
Control rack position
Barcode system
Chamber type: Asahi N6B-A Chamber
Wafer stage:
Chuck type: Ring type, 8"
Air stage
Wafer loader:
Notch, 8"
Loader type: Type 4
OF type: Notch
Flat zone: 6
In-Line: Left type
Cassette: right
Reticle loader:
Reticle, 6"
Expansion library
Left 10-Slots
Centre 10-Slots
Hard Disk Drive (HDD)
Floppy Disk Drive (FDD).
NIKON NSR S206Dは、半導体業界でトップクラスのウェーハステッパーです。この機械は多数の点検および計測の適用のために設計され、小型および超小型の特徴プロダクトの大量生産の区域で優秀です。NSR S206Dは2つのコンポーネントで構成されています。NIKON NSR-S205iscan高速スキャナとNIKON NSR-S306i露光システム。NIKON NSR-S205i Scannerは、大量生産用に設計されたスタンドアロンモデルで、優れたスループットと高精度スキャンを提供します。スキャナの高度な設計は、大小のフィールド測定の両方で高いスループットを提供し、同時に4つのオペレータで使用することができます。また、NIKON NSR S206Dは、さまざまな照明源で最適な画質を提供するように設計されています。このシステムは、レーザー光源スキャン、高度なアライメント技術、独自のフォーカス技術を備えており、正確な結果を得るための明確な画像を提供します。NSR S206Dでは、サブミクロンオーバーレイと臨界寸法(CD)の測定が容易に行えます。NIKON NSR-S306i Exposure Systemは、ウェーハとマスク間の交換、レーザーセットアップ&アライメント、複数位置の露出など、幅広い露出ソリューションを提供する露出ソリューションを統合して設計されています。スキャナと露出システムを組み合わせることで、ダウンタイムの少ない最大スループットを実現します。NIKON NSR S206Dはまた、マシンのパフォーマンスを最適化するための一連のソフトウェアソリューションを提供しています。これには、パターンプログラミング、リアルタイム欠陥検査、ウェハマッピング、ステッピングマップオーバーレイ、データ収集が含まれます。マルチレベルレシピエディタは、ユーザーにレシピと条件をより簡単かつ正確にカスタマイズする機能を提供します。高度なソフトウェアソリューションは、効率、生産性、費用対効果を最大化します。NSR S206Dは、汎用性が高く、信頼性が高く、強力なウェーハステッパーです。高度なスキャナ、露光システム、ソフトウェアを組み合わせることで、小型および超小型機能製品の大量生産に最適です。この機械によって提供される一貫した結果はそれを半導体産業の上の選択にします。
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