中古 NIKON NSR S206 #9196486 を販売中

ニコンNSR S206は、同社の費用対効果の高いNSRシリーズのステッパーの一部です。大量量生産プロセスにおける半導体ウェーハの効率的かつ精密な加工を目的として設計されています。NSR S206は、光学部品による高度なパターニングと層間オーバーレイが可能であり、ライン幅を0。2ミクロンまで制御する中小の機能に最適です。このステッパーは、CCD型パターンジェネレータを使用して、フォトマスク作成プロセスで使用するCAD図面入力データから画像データを生成します。また、パワフルなCASSSPECスキャン装置を統合し、簡単なプリセット設定で高速なパターン転送と露出パラメータの最適化を実現します。NIKON NSR S206は、最新のDose Control Algorithm （DCA）とActive Pixel Count （APC）を使用して、ウェーハ全体の露光線量を最適に均一にし、ウェーハ表面全体に均一なパターンを作成します。NSR S206は高度に自動化されており、人間の介入を減らすように設計されており、メンテナンス性の低い高精度デュアルステージ基板位置決め、ウェハチャック、真空システムにより、非常に均一で欠陥のないパターンを作成します。ユニークな露出ユニットアーキテクチャは、時間やコストを追加する必要なく複数の露出フィールドをサポートしているため、処理中にフィールドを素早く切り替えることができます。ニコンNSR S206は、有機・金属汚染を除去するクリーントラックウエハ洗浄機を搭載し、品質を損なうことなく高い生産性と総効率を実現しています。また、高解像度レジスト、正と負の両方、超解像度レジストなど、高度なリソグラフィ材料のフルレンジで動作します。NSR S206は、高度なフォトマスクの改良、マスクとウエハのプリアライメントシステム、超高解像度イメージング技術により、先進的な半導体工学および製造ニーズに最適です。高効率かつ高精度なウェーハステッパーで、コスト効率の高い価格で高いスループットと品質を提供します。