中古 NIKON NSR S206 #293817851 を販売中

ニコンNSR S206は、主に微細加工に使用されるフォトリソグラフィ加工技術に使用されるウェハステッパーです。半導体基板上のフォトレジストコーティングを「露出」と呼ばれるプロセスでイメージするように設計されています。このステッパーには2つの露出システムがあり、そのうちの1つは水銀ハライドランプともう1つはLEDアレイを利用しています。条件に従って、露出の観点から照明源を変えることは可能です。この装置はステッパーがより高速で実行することを可能にし、0。25マイクロメートルまでの決断の高精度パターニングを保障します。ステッパーは、さまざまなフォトマスクを可能にし、抵抗を使用することができます。これには、ポジティブ、ネガティブ、セーブル・トーン・レジストが含まれます。NSR S206は、ガラス基板、シリコン、Ge、 GaAs、 InPなどのウエハ基板などの各種基板の使用も可能です。また、石英などの中型プレートにも対応できます。ステッパーは、ステッチや手動レタッチを必要とせずに、広いフィールド上の画像の高精度の均一性を可能にします。その自動ステッチ機能は、大きなフィールドを小さく分割し、それらを公開し、それらを一緒にステッチすることができます。また、NIKON NSR S206は、大きな段差フィールドを露出することができます。ウェーハの表面はレーザークリーナーを内蔵しており、画像の忠実度にも役立ちます。さらに、オートフォーカスと露出制御機能により、極めて微細なミクロンパターンが得られます。そのソフトウェアは、洗練された画像最適化を可能にし、優れたNA （Numerical Aperture）プルパワーでより高速な画像処理時間をブレンドします。ステッパーには直感的なグラフィカルユーザーインターフェイス（GUI）が付属しており、いくつかのフォトマスク作成技術と統合することができます。全体的にNSR S206は、優れたスループットと解像度を提供できる高度なステッパーです。これは、高度な半導体プロセスの効率と再現性を最大化するように設計されています。