中古 NIKON NSR S205C #9308056 を販売中
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ID: 9308056
ウェーハサイズ: 12"
KrF Scanner, 12"
Magnification: 4x
Wave length: 248 nm
Exposure type: Static
Handedness: Inline left / Right
Track interfaces: TEL / TOKYO ELECTRON ACT 8, ACT 12-200, ACT 12
Lens type: 4:1
MAC Real-time lens control
Chamber type: Standard
Chamber temperature set point: 22.2°C
Variable numerical aperture: 0.6 - 0.75
sPURE
Resolution Enhancement Technology (RET)
RET Apertures:
1/3 Annular (LNA: 0.75)
1/2 (LNA: 0.75)
2/3 (LNA: 0.75)
2/5 (LNA: 0.75)
2/5 (LNA: 0.68)
SHRINC Illuminator σ: 0.85
Quick Reticle Change (QRC)
(6) Reticles, 0.25"
Reticle microscope compatibility: 22.0 mm fixed
Reticle loader with reticle controller
Reticle barcode reader
Field Image Alignment (FIA) System
Laser Step Alignment (LSA) System
Phase contrast FIA
TTLFC2
Beam matching unit
Pre-alignment 2
Wafer stage: Air bearing / Linear motors
Wafer loader: Type 4
AVIS System
Multipoint focus / Level
Extended wafer carrier table
Pellicle Particle Detector (PPD3)
NIKON SECS II GEM Interface
CYMER ELS6410 KrF Excimer laser source.
ニコンNSR S205Cは、フォトマスクのリソグラフィープロセス用に特別に設計されたウェハステッパーです。このステッパーは、半導体からフラットパネルディスプレイまで幅広いデバイス用途のマスクを製造することができる独自の静的および動的イメージング装置を備えています。NIKON NSR S 205 Cステッパーは、最高解像度6。6 μ mの高スループット露出ヘッドを採用し、優れた画質を実現しています。また、ハイダイナミックインデックス(HDI)やダイレクトレーザーライター(DLW)などの最新技術を搭載し、サブレゾリューションのイメージングを可能にしています。さらに、7軸の多段自動ウェハハンドリングシステムを搭載し、正確なウェハアライメントと配置が可能です。また、NIPR (Nanometer Resolved Imaging Platform with Resolutions)と同様に、カール・ツァイス・ヴァリラックス光学ユニットも付属しており、幅広い基板やフォトマスクに優れた解像度と再現性を提供します。また、NSR S205Cは、高速アーク形状の開口イメージングマシンを搭載し、エネルギー消費量を削減しています。また、このステッパーは独自の大気投影技術を提供しており、露光プロセス全体でガス消費を最小限に抑えます。さらに、ステッパーは、単一の露出操作でシングルまたはダブル露出を同時に行うことができるため、オペレータは1つまたは2つのマスクで1つの露出を行うことができます。NSR S 205 Cツール全体は、さまざまなリソグラフィーシミュレーションとパラメータでプログラムされた高性能な操作性を備えたユーザーフレンドリーなグラフィカルインターフェイスを備えています。また、省エネ自動検知ウェーハ給電アセットを搭載し、省エネと安全運転を実現しています。さらに、オートオートフォーカスモデルはフォーカス設定プロセスを自動化し、優れたウェーハセンタリング精度を実現します。さらに、ステッパーにはカスタマイズ可能なインターフェースが付属しており、ユーザーはさまざまなアプリケーションのリソグラフィーパラメータを最適化できます。全体として、ニコンNSR S205Cは、最適化されたリソグラフィープロセス用に設計された先進的なウェーハステッパーです。半導体、フラットパネルディスプレイ、イメージセンサー、その他の画像関連製品の製造に最適です。強力なイメージング装置と様々な高度な機能を備えており、さまざまなアプリケーションに適した選択肢となっています。
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