中古 NIKON NSR S205C #9258895 を販売中

ニコンNSR S205Cは、ウェーハ上で高品質な画像を生成できる最先端のリソグラフィ装置です。NIKONが開発したDUVプロジェクションオプティクスを使用した、寺崎型ガラスチャンバー、i-lineシステム、ウェハステッパーで構成されています。Terasakiタイプのチャンバーは、振動を低減し、フォトマスクアライナー/ステッパーを動作させるための非常に安定した環境を提供するように設計されています。i-lineユニットは、4つのi-lineミラーと1つのi-lineイルミネーションソースで構成されています。i-lineマシンは、ピクセル歪みが少ないため、焦点深度が拡張され、印刷性能が向上します。NIKONが開発したDUVプロジェクションオプティクスは、高イメージコントラストと低フレアの両面パターニングを提供します。ウェーハステッパーは最先端のウェーハ交換ツールで、最大直径8インチのウェーハに自動的にアライメントして印刷することができます。i-lineアセットにより、最大2cc/秒の高速パターンシフトが可能です。また、高精度のステージを備えており、マスクパターンを正確かつ信頼性の高い印刷にするために必要な安定性を提供します。ニコンが開発したDUVプロジェクションオプティクスは、より高いステッピングスループットを提供するように設計されており、生産歩留まりを向上させます。NIKON NSR S 205 Cは、高度なウェハステッピング機能に加え、マスクの自動アライメントやエッジトラッキング、継ぎ目のための高倍率モニタ、自動分割開口補正、高精度な蓄積など、豊富な機能を備えた高度なコントローラを備えています。高度なコントローラには、ウエハステッパーや他のコントローラと通信する組み込みPC機器が含まれています。さらに、ウェーハステッパーは操作を簡素化するユーザーフレンドリーなインターフェースを誇り、複雑なウェーハパターンを迅速かつ正確に設定および制御することができます。NSR S205Cは、ウェーハ上で高品質な画像を生成することができる高度なウェーハステッパーです。NSR S 205 Cは、寺崎型ガラスチャンバー、i-lineシステム、NIKONが開発したDUVプロジェクションオプティクス、先進コントローラを搭載し、半導体やフラットパネル製造プロセスのパターニングウエハに最適です。