中古 NIKON NSR S205C #9211182 を販売中

NIKON NSR S205Cは、先進的な半導体産業のために設計された最先端のウェーハステッパーです。NIKONの最先端かつ最新のスループット、高度なソフトウェア、高度なデザインを提供します。NIKON NSR S 205 Cは、アライメント、露出、およびその他の必要なパラメータを含む高度なリソグラフィープロセスのすべての側面を管理できる完全自動装置として設計されています。NSR S205Cは、半導体ウェハ上の集積回路などのデバイスを製造するリソグラフィ用半導体業界で使用される光学イメージング装置です。ウェーハ表面の正確なパターニングを必要とする用途向けに設計されています。ステッパーは高度なガルバノメータースキャンシステムを使用しており、ウェハの全画像分野を迅速にスキャンできます。これにより、高速なスループットと優れたイメージングプロセスの均一性が得られます。NSR S 205 Cは、半導体プロセスに最適化された高度なレーザー光源を使用し、635nm波長の高出力レーザー光を生成します。レーザーは1。3umの集中された点サイズのウェーハの表面にコリメートされ、渡されます。露出領域をウェーハ上のよく定義されたパターンで拡大し、露出ステップ中の良好なアライメント精度を可能にします。レーザーユニットは、高度なパルスモジュレータと強度制御機を使用して露光パラメータを微調整し、再現性のある信頼性の高い結果を提供します。ステッパーには、正確なアライメントと露出のための高精度の機械要素も装備されています。2軸ステージと動的レチクル位置決めツールを採用しています。この位置決めアセットは、ステッパーの高度な画像処理およびアライメントソフトウェアによって制御されます。NIKON NSR S205Cの高度な対称光学イメージングモデルは、可変倍率装置を備えたテレセントリック設計を採用しています。これにより、ウエハを均一に照らすことができます。また、NIKON NSR S 205 Cは、生産プロセスを簡素化および高速化するために設計された複数の自動化された機能を提供します。このシステムは、露光時間の決定、画像の分析、フォーカスやシャッタースピードなどのパラメータの制御に高度なソフトウェアを備えたコンピュータ制御ユニットを使用しています。また、幅広いタスクに使用できるプログラムやデータベースの豊富なライブラリも提供しています。NSR S205Cは全体的に先進的なウェーハステッパーであり、さまざまな先進的な半導体プロセスで業界をリードする結果を提供するように設計されています。これは、高いスループットと品質のイメージングを提供しながら、最も困難なリソグラフィーアプリケーションの要求を満たすように設計されています。その高度な自動化された機能により、高速で信頼性の高いリソグラフィーソリューションをお探しのお客様に最適です。