中古 NIKON NSR S205C #9207364 を販売中

NIKON NSR S205C
ID: 9207364
KrF Scanner.
ニコンNSR S205Cは、リソグラフィ用途向けの高精度ウェハステッパーです。高いスループットのために設計されており、設置面積が小さいため、クリーンルームや実験室の環境に最適です。S205Cは、広い視野を持ち、20ミクロン以上の最大画像サイズを提供する高度な5軸スキャナを使用しています。これにより、幅広いウェーハジオメトリが可能になり、乱視を防ぎます。この光学系は、NeXtech NRFを搭載した高性能な内蔵光学系、NIKONが開発した低欠陥イマージョンレンズ、およびリソグラフィに最適化された独自のNIKON CCDを備えています。S205Cは高速、高精度のステージを備えており、幅広い用途においてウェーハの正確、再現性、信頼性の高い配置とスキャンを可能にします。高速スキャンとクリーンルーム設計により、S205Cは高解像度の微細加工ウェーハを大規模に製造することができます。スキャナの4フレーム機能により、高解像度のイメージングを迅速に繰り返すことができます。NIKON NSR S 205 Cは高度に自動化されており、その高度なソフトウェアは高速で簡単な操作のために設計されています。ユーザーフレンドリーなGUIにより、オペレータはシステムのすべてのファセットをプログラム、監視、および維持できます。自動整列システムは、アライメント精度を向上させ、ユーザーの変動の影響を最小限に抑えます。NSR S205Cは、包括的なリソグラフィ技術に加えて、高度な非接触測定および検査機能も備えています。これは、高精度、反復可能、非破壊測定を提供します。これらの機能により、ユーザーはデバイスのパラメータを正確に決定し、テストウェーハを高精度に検査することができます。S205Cのソフトウェアの優れた柔軟性は、ウェハマップ編集や高速データ処理機能などの強力なツールを提供します。S205CはSEMI規格に準拠しており、多数のレイヤー変数が含まれているため、幅広いフォトマスクとレジストタイプをサポートできます。さらに、S205Cは、高度な基板の高速露出加工をサポートしています。通常の基板では、露光時間が大幅に短縮されます。これにより、高速リソグラフィ、工業加工、研究開発に最適なS205Cとなります。NSR S 205 Cは全体的に信頼性が高く汎用性の高いウェーハステッパーであり、究極の精度と速度を実現するよう設計されています。高度な5軸スキャナ、高スループット、無数の機能を備えたこのS205Cは、あらゆるリソグラフィのニーズに最適です。
まだレビューはありません