中古 NIKON NSR S205C #9114891 を販売中

ニコンNSR S205Cウェーハステッパーは、集積回路の製造に使用される高度なリソグラフィ装置です。これは、設置面積が小さく、メンテナンス要件が低い、信頼性が高く正確なツールです。この装置は、紫外線（UV）から赤外線（IR）までの広いスペクトル範囲をカバーする複数の波長露光源を使用しています。さらに、2軸の独立スキャナを2基備えており、高度なステージオーバーラップ検出機能を備えており、非常に正確なオーバーレイ精度を提供します。NIKON NSR S 205 Cは、マスクパターニング用の高解像度イメージングユニットであり、12um CDからの画像を形成することができます。さらに、アライメント精度が3um+/-0。6umの自動マスクアライナーがあります。また、高度なデータストレージマシンと大型プロジェクションレンズを備えており、正確なスポットサイズ制御とフォーカス性能を提供します。また、中小基板に適した最適化されたプレレベリングステージを備えています。ステッパーは、3インチから8インチまでの幅広いウェーハサイズをサポートするように設計されています。それに装置の物質的な特徴に従ってユーザーが最も適した露出線量を選ぶことを可能にする200mmのプロセス窓があります。アセットのソフトウェアは優れた自動化機能を提供し、ユーザーは1つのステップで複数のジョブを処理できます。一方、Job Analyzer機能を使用すると、ユーザーはプロセスパラメータを追跡できます。NSR S205Cは、すべての操作に簡単にアクセスできる高度なオンボードグラフィカルユーザーインターフェイスによって制御されます。また、モデルのパフォーマンスを最大化するためのリアルタイム監視、診断、アラームも提供します。さらに、この機器にはデータロギングシステムと、SEMI S2およびS8クラス1レベルの要件を満たす調整可能な安全基準が装備されています。さらに、Ethernet、 USB、 RS-232などの複数の端末インタフェースを備え、高信頼性データ伝送を実現しています。全体として、NSR S 205 Cは多彩な機能を備えた汎用性と信頼性の高いツールです。中型チップメーカーや研究開発チームに最適で、研究環境と生産環境の両方で使用できます。堅牢なパフォーマンス、使いやすさ、包括的な保護機能を備えたこのステッパーは、効率と出力を向上させたい人に最適です。