中古 NIKON NSR S205C #293817918 を販売中

ニコンNSR S205Cは、半導体デバイスの製造に使用されるウェーハステッパーです。250nm〜20nmの高精度・高精度な機能を実現します。その高度なアライメント装置は、再現性と信頼性の高いデバイス生産のための高精度の結果を保証します。NIKON NSR S 205 Cは、より大きなスキャン角度、より高いスキャン速度、高いNA光学を備え、ウェーハのスループットを向上させます。NSR S205Cの露出システムは、露出速度を向上させ、ラインバイライン露出パターンを生成するマルチゾーンユニットに基づいています。また、優れたオーバーレイ精度を与えるサブミクロン最大画像歪みを備えています。露光時間を短縮するために、露光時間は0。9秒で、最小撮影倍率は5 xです。機械は高エネルギーのDeep UV （DUV）ソースを使用しているため、最大露光量は5 mJ/cm2です。NSR S 205 Cのアライメントマシンは、ニコンの実証済みの信頼できる光学系とフレックスビームの組み合わせを使用して、高い精度と再現性を実現しています。サイズ測定の最大精度は0。3 μ m、アライメント精度は0。1 μ mです。また、チップ製造時に高精度かつ高度な制御を可能にするアライメントソフトウェアを内蔵しています。NIKON NSR S205Cはモジュール式の設計で、容易にアップグレード可能です。コンポーネントは、デバイスの要件の変化に応じて交換でき、機器は標準のウェーハプロセスプラットフォームに統合することができます。また、振動を低減し、スループットを向上させる超静かな冷却ツールを搭載しています。この冷却アセットとその他の機能を組み合わせることで、優れた結果が得られ、半導体業界で人気のある選択肢となりました。NIKON NSR S 205 Cは、デバイス上で高精度かつ高精度なウェーハステッパーです。直感的なアライメントモデルとモジュラー設計により、高度な半導体デバイスの生産に最適です。優れたスループットで信頼性と効率性を兼ね備えており、あらゆるウェーハ生産ラインに理想的な追加を実現します。