中古 NIKON NSR S205C #293639083 を販売中

NIKON NSR S205Cは、半導体業界で広く使用されている多分野イメージングステッパーです。NIKON NSR S 205 Cは、2。05ミクロンの解像度で高精度、高スループットのリソグラフィ性能を備えています。ウェーハステッパーはレーザー干渉計で構築されており、露出フィールドの位置合わせの精度と再現性を確保しています。このマシンは、小型から大型ウェハサイズまで、あらゆる生産ニーズに対応するように設計されています。4〜12インチまでのマスクサイズに対応し、最大200mmまで対応可能です。ステッパーは、さまざまな露出要件を満たすためにレンズのオプションの広い範囲を提供しています。使用可能なレンズは、0.65NAや0.60NAなどの高NA （Numerical Aperture）レンズと、高NA Sタイプのレンズがあります。この装置は、高速で高解像度のスキャンメカニズムを使用して、複数の露出フィールドが正確かつ同時に登録されていることを確認します。NSR S205Cは、視覚支援アライメントやオートフォーカスなど、さまざまな統合されたオートメーション機能も備えているため、各ジョブのセットアップに要する時間を短縮できます。さらに、ステッパーには、特定のデバイスタイプのパターン検査およびオーバーレイ解析機能を可能にする多くの特殊機能が装備されています。これらの機能には、電気機器パターンのオートフォーカスおよび測定システム、パターン欠陥検出、および光学デバイスのパターン形状の改善が含まれます。ステッパーのレチクルステージは、従来のシステムよりも高い再現性を提供し、回転精度は5アーク秒です。NSR S 205 Cには、複数のプログラムサイクル機能や複数のマスクやレシピを保存する機能など、さまざまなプロセス制御オプションが含まれています。ステッパーは、さまざまなDPEC （Data Processing and Evaluation Control）ソフトウェアと互換性があり、自動ウェハマップ、柔軟な露出パラメータ設定、シーケンシャルチャッキング制御を提供します。ニコンNSR S205Cは、さまざまな検査、監視、測定システムにも対応しています。全体として、NIKON NSR S 205 Cは半導体デバイスの生産に最適なユニットです。高度なイメージングと正確なアライメント技術、複数のレンズとオートメーション機能、高精度で反復可能な機械特性を備えています。ステッパーの機能により、さまざまなアプリケーション要件に最適です。