中古 NIKON NSR S205C #293621756 を販売中
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ID: 293621756
ヴィンテージ: 2002
KrF Scanner
Load chamber
Chamber and accessories
IIU
BMU
AB Rack stand
CYMER ELS-6410 Laser
Illumination unit
FAB AC
Transformer
NIKON S53 Chiller
AMP Rack double / Single and accessories
2002 vintage.
NIKON NSR S205Cウェーハステッパーは、半導体デバイス製造に使用される最先端のウェーハステッピングツールです。このS205Cは、直径8インチまでのラウンドウェーハをスキャンすることができ、リソグラフィ用途に適した高精度パターニングを可能にします。S205Cは、精密制御システムと組み合わせてニコンリソグラフィー光学技術を使用し、精度と信頼性を確保するために十分に設計された光学機器を持っています。S205Cは、パターンをウェーハに正確に印刷するプロセスをサポートする多くの機能を提供しています。S205Cの光学系は電動ステージによって駆動され、高速かつ正確なビームアライメントのためのウェーハの正確な移動を可能にします。また、高精度なフォーカス検出が可能で、フォーカスレンズの位置やウエハプロファイルの制御もしっかりできます。これらの機能の組み合わせにより、小さな機能でも毎回ウェーハに正確に印刷されます。S205Cのハンドリングシステムも最適な性能を維持するように設計されています。ハンドリングユニットは、真空チャックと6軸ロボットで構成されており、ウェーハを正確に揃えて取り扱うことができます。これにより、ウェーハ処理において高いスループットと精度を実現します。また、S205Cには多くの安全機能が組み込まれており、汚染や危険なリソグラフィーガスへの偶発的な暴露を防ぎます。最後に、S205Cは、リソグラフィープロセスを簡素化するのに役立つユーザーフレンドリーなソフトウェアの範囲を持っています。このソフトウェアを使用すると、リモートでマシンをセットアップ、監視、制御することができ、柔軟性と生産性が向上します。ソフトウェアには、品質管理のための簡単なデータ記録と分析を可能にする組み込み機能も含まれています。要約すると、NIKON NSR S 205 Cは、半導体デバイスの正確かつ効率的な生産をサポートするように設計されたウェーハステッピングツールです。その優れた光学ツール、正確なハンドリング資産、ユーザーフレンドリーなソフトウェアは、高精度のリソグラフィ用途に人気のある選択肢です。
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