中古 NIKON NSR S205C #293619857 を販売中

NIKON NSR S205Cステップアンドスキャン装置は、半導体製造における高度なフォトリソグラフィープロセス向けに設計された、高精度、高解像度の最先端リソグラフィーシステムです。このユニットは、最小限の処理時間で最高品質の画像とパターンを生成することができます。ビーム源は高効率のArF（ガス放電エキシマー）レーザー光源で、高精度なスポット径5ミクロン、最大光度約100 mW/cm2のスキャン場を提供します。このマシンは、スキャン専用とステッパー/スキャナの2つの構成で利用できます。スキャン専用モードは、繰り返したり登録したりする必要のない、大きな画像パターンの露出用です。ステッパー/スキャナーモードは、ツールをステッパーに直接接続し、大きな重要な機能分野の統合と再現性を高い精度で実現します。S205Cには3つの独立したガルバノメータスキャナが装備されています。メインスキャナはフィールド全体をスキャンし、2つのサブスキャナを使用して0。7ミクロンの高い2Dライン幅の解像度を実現します。メインスキャナは、独自のシングルスポットビームを使用してスキャン時間を短縮し、画像の歪みを低減します。また、CCDカメラと連続レンズを組み合わせた先進的なイメージングモデルも搭載しています。これにより、精密な回路パターンのスキャン解像度を0。4ミクロンまで高めることができます。装置のユーザーインターフェイスは、効率的な操作とセットアップの強力な制御のために設計されています。操作パネルおよび4。3"色LCDの表示はすべての変数の制御を提供します警報機能はシステムの容易な管理を提供します。このユニットは、Webブラウザ、IPアドレス、またはイーサネット接続などの便利なネットワーク機能も提供しています。NIKON NSR S 205 Cのもう1つの人気の特徴は、ステッパーとスキャナの整列プロセスを自動化するオートアライメントマシンです。これにより、パターンのずれが最小限に抑えられ、画像の劣化や歩留まりの喪失につながります。NSR S205Cは、生産ラインのフォトリソグラフィの極端な要求に応えるように設計された高効率で精密なリソグラフィーツールです。産業半導体生産のための安全で信頼性の高い選択肢であり、非常に高度な光回路の広い範囲の生産に適しています。