中古 NIKON NSR S205 #293660358 を販売中
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ID: 293660358
KrF Scanner
AIS Measurement repeatability: 3σ ≤ 60 nm
Stepping precision: 3σ ≤ 25 nm
Backlash: 3σ ≤ 25 nm
Resolution:
Conventional: 180 nm
Annular: 2/3
Depth of focus: ≥ 400 nm / ΔCD 36 nm
Focus deviation: ≤ 130 nm
Dynamic distortion: ±15 nm
LC Control Accuracy:
Magnification: ±10 nm
Alignment accuracy:
FIA-EGA: |M|+3σ ≤ 35nm
LSA-EGA: |M|+3σ ≤ 40nm.
NIKON NSR S205は、半導体の量産用に設計された高性能、高速ウェーハステッパーです。これは、優れた画質、正確なパターン配置、微細なライン処理のための小さな臨界寸法（CD）エラーを提供する、ハイエンドスキャン機器を備えています。NSR S205は、0。75の広い被写界深度、高い数値開口（NA）、スキャン不要の300mmプライムウェーハに対応できる広い被写界深度により、優れたウェーハとウェーハのオーバーレイと優れた配置精度を保証します。ニコンNSR S205は、稼働時間の最大化とメンテナンスの最小化を保証するため、高度なハードウェアおよびソフトウェアコンポーネントを搭載しています。CANバスネットワーク通信システムと統合ビジョンユニットは、ユーザーに迅速かつ詳細なフィードバックを提供します。人間工学に基づいたハンドリングが容易なウェーハハンドリングマシンは、フロントアクセス機能を備えており、誤作用を防ぎ、高速スイッチングを保証します。ウエハハンドリングとシャッターツールは、ウエハ温度を一定に保つための統合ヒーターも備えています。NSR S205は、高度な処理のために、統合されたレーザダイレクトイメージング（LDI）資産を備えています。このモデルは、安定した安全な露出係数を提供し、レーザー干渉フリンジ投影技術を使用してウェーハにパターンを正確に整列させます。さらに、デジタルステッチにより、非常に複雑なパターンを投影することができます。NIKON NSR S205には、ビームアライメント装置が統合されており、安定した光学および電気的価値と容易な調整を提供します。NSR S205は、ウェーハステッパー技術の最新の進歩を表しています。その合理化された設計により、ユーザーは粒子や汚染への曝露を減らすことができますが、その高性能は量産に最適です。さらに、そのコンパクトなサイズとリーズナブルな価格は、産業および学術アプリケーションの多種多様なための貴重なツールになります。
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