中古 NIKON NSR S204B #9272079 を販売中

NIKON NSR S204Bは、半導体基板や「ウェーハ」上で極めて小型で複雑なパターンを生成できるように設計されたウェーハステッパーです。フォトリソグラフィックデバイスであり、感光材料であるフォトレジストによって記録されたウェーハ上のパターンを投影するために光線を使用することを意味します。光源は通常キセノンまたは水星ベースのランプですが、現代のバージョンではLEDが組み込まれている可能性があります。NIKON NSR-S204Bは多くの方法で自動化されており、精度と再現性を確保するために一連の同軸モータによって制御されています。これらのモーターはウェーハを配置し、ステップとスキャンのアライメントと露出を制御します。ズーム、フォーカス、アライメントも各基板の特定のニーズに合わせて調整可能です。これらの精密モータにより、NSR S 204 Bはマスクアライナーの解像度0。29 µm、ステッパーの場合は最大0。35 µmのパターンを作成できます。ウェーハは水晶およびエポキシによって補強されるプラスチックからなされる露出部屋に汚染がウェーハに移らないことを保障するために置かれます。光は、ズームレンズを通して光を正確にフォーカスするためにウェーハに複数の画像を投影する一連のスリット型ミラーを介してルーティングされます。一度設置したウェーハは光にさらされ、パターンが記録されます。その後、ウェーハを取り外し、さらなる開発で加工することができます。NIKON NSR-S 204 Bには、2つの別々の画像を使用して1つの露出を形成するEnhanced Clustering Controlなど、柔軟性を高めるいくつかの高度な機能が搭載されています。また、固定マスク機能を備えた内蔵スキャナー校正機能を備えているため、光にさらされる前にウェハを正確に整列させて焦点を合わせることができます。［パッケージ削減］オプションを選択すると、大量生産の露出時間が短縮され、フルオートレチクル検索機能によりパターンが正確に配置されます。また、NSR-S204Bにはいくつかの安全機能が装備されています。これには、取り扱いが検出されないときに自動的に閉じるチャンバードアと、紫外線による損傷を最小限に抑えるための緊急停止ボタンと露出インターロックが含まれます。このデバイスには、露出中の振動を減衰させるための防振システムも装備されています。全体として、NIKON NSR S 204 Bは強力で効率的なウェーハステッパーであり、半導体ウェーハ上の複雑なパターンを迅速に生成できます。堅牢で使いやすい機能と安全機能を兼ね備えたこのデバイスは、マイクロファブリケーションデバイスに最適です。