中古 NIKON NSR S204B #9244030 を販売中
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販売された
ID: 9244030
ウェーハサイズ: 8"
ヴィンテージ: 2001
KrF Scanner, 8"
Wavelength: 180 nm
Reticle size, 6"
Wafer type: Notch
Basic version: MCSV & BASE
Option version: OCSV
Includes:
LFU
Signal tower
Stage
Alignment
Reticle loader
Wafer loader
Main lens
Main computer:
DMCC HDD
FDD
DAT Driver
Unit status:
BMU
Laser type: GIGAPHOTON G20K2-1
Wafer stage: Air stage
Variable reticle microscope
Wafer alignment: LSA, FIA
Auto focus and leveling: Multi
PPD
Barcode leader
Reticle loader:
Type: Normal / 3LIB
Reticle size, 6"
Wafer loader:
Type 3
Notch type, 8"
Notch zone: 6 Time
In-line (Left)
Single cassette
Chamber status:
Chamber type: ASAHI N5Z-A
Atmospheric pressure: 755.7 mmHg
Chamber temperature:
Catc: 23°C
Batc: 23°C
Lltc: 23°C
LFU & Signal tower missing
2001 vintage.
NIKON NSR S204Bは、パターン伝達生産において優れた性能を発揮するよう設計された先進的なウェーハステッパーです。その強力な光源と高度な光学系は、ナノメートルスケールの機能を備えた高解像度フォトマスクの製造に理想的なツールです。NIKON NSR-S204Bは最先端のスキャナ光学系と超高輝度照明システムを搭載しています。NSR S 204 Bの光源は、最大出力2。2kWのUV放電ランプです。これにより、ステッパーは高いスループットと低い歪みレベルを達成しながらも、優れた線幅と分離を達成することができます。NIKON NSR-S 204 Bの光学系は、小さいサイズの画像パターンでも正確なアライメントとフォーカスを可能にするように特別に設計されています。NIKON NSR S 204 Bには高速圧電モーションプラットフォームが搭載されており、最適な露出領域にウェーハを正確に配置し、最適なパターン転送結果を得ることができます。また、NIKON S204Bは、マスクのサイズを最大8インチまで扱うことができる完全自動化されたマスク転送システムと、より複雑なプロセスのためのより高度なプログラムを備えています。オートフォーカスやオートポジショニングなどのオプションが含まれているため、オペレータは撮影前に完璧な露出領域を迅速かつ正確に見つけることができます。また、NIKON S204Bには非接触型の欠陥検出システムが内蔵されており、作業者はさらなる生産工程の前に問題を迅速に特定して解決することができます。パターン転送生産において高精度と信頼性を提供するウェーハステッパーをお探しの場合、NSR-S 204 Bは優れた選択肢です。パワフルで長持ちするUV光源と高度な光学系、高速圧電運動プラットフォームを組み合わせており、ナノメートルスケールの解像度フォトマスク製造に最適なツールです。
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