中古 NIKON NSR S204B #9195176 を販売中
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タップしてズーム
販売された
ID: 9195176
ウェーハサイズ: 8"
ヴィンテージ: 2001
DUV Scanner, 8"
Handedness: Inline left or right
Altitude: Varies by site
Lens type: 4eN2
Chamber type: Standard
Chamber temperature set point: 22.2°C
Variable numerical aperture: 0.55-0.68
sPURE
Resolution enhancement technology (RET)
RET Apertures iNA= 0.51, 0.45, 0.41, 0.36, 0.27, and 1/3 annular
SHRINC Illuminator max σ; σ=0.85
Quick reticle change (QRC)
Reticle, 6"
Reticle loader
With reticle controller
Reticle barcode reader
Field image alignment system (FIA)
Laser step alignment system (LSA)
Phase contrast FIA
TTLFC2
Pre-alignment 2
Wafer stage: Air bearing / Linear motors
Type 3 ceramic wafer holder
Wafer loader
With type 3 wafer loader controller
Chip leveling included
Multipoint focus/level
Extended wafer carrier table
Pellicle particle detector (PPD3)
Online OCS
NIKON SECS II GEM Interface
CYMER ELS 6400 Series KrF excimer laser source
2001 vintage.
ニコンNSR S204Bは、高解像度集積回路チップの製造に使用される高度で汎用性の高いフォトリソグラフィーステッパーです。このステッパーは、直径8インチまでのウェハを撮影することができます。フルフィールドスキャンを備えた高精度の計測システムを使用して、超高分子アライメント精度を実現しています。両面アライメントシステムを採用し、極めて薄いウェーハの厚さとアライメント精度を測定します。ユニークな二軸ウェーハステージを備えており、ウェーハの両側をスキャンしてイメージすることができ、露出パターンが正確で歪みのないことを保証します。また、高性能な光学フィールドフラットナーを搭載し、再現性の高い画質を実現しています。ウェーハはフォトレジストコーティングや露出など、さまざまなパターン加工技術で加工されています。ステッパーの照明装置は1秒から1分までの露出の範囲の高性能のキセノンランプです。ステッパーは驚異的な0。1マイクロメートルの光学分解能を維持することができます。これは、ICチップの高精度で微細な画像を実現するために不可欠です。機械の自動焦点検出および取得システムはウェーハの非常に正確な焦点を合わせることを可能にします。また、ウェーハサイズ検出、ウェーハおよびレチクル交換、安全性の確認など、さまざまなプログラミングおよびウェーハハンドリングオプションも提供しています。このデザインには、包括的なソフトウェアとユーザー機能も含まれており、ユーザーはマシンを完全に制御できるだけでなく、洗練された動的なデータと機能にアクセスできます。NIKON NSR-S204Bはまた、低消費電力、セットアップ時間が非常に短い、部品の寛大な寿命保証など、さまざまな利点を提供しています。NIKON NSR S2004Bは、半導体製造に最適な設計で、包括的で多様で信頼性の高いウェーハステッパーをユーザーに提供します。その印象的な技術力と機能、そのユーザーフレンドリーな設計と簡単なメンテナンスと組み合わせるNSR S2004B、チップ製造およびプログラミングアプリケーションの広い範囲のための優れた選択肢です。
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