中古 NIKON NSR S204B #293678915 を販売中

ニコンNSR S204Bは、半導体業界で使用される精密リソグラフィ用に設計されたウェハステッパーです。NIKON NSRシリーズの一部であり、最も信頼性の高い先進的なシステムの1つです。S204Bは、操作が容易なヒューマンマシンインターフェイスを使用しており、高性能光学、自動制御、およびモーションコントロールシステムの配列が含まれています。S204Bの対物レンズは、大口径高分解能収差補正対物レンズ「NIKON AIMEX VXR270」です。NAは0。35で、全場倍率は3倍です。これにより、高精度ミクロン/サブミクロンのリソグラフィ解像度と高スループットを実現できます。また、リニアモーターベースの駆動装置を採用し、振動のないスムーズな動作を実現しています。NIKON独自のS204B制御プラットフォームもMMC-5000Eしており、システムを自動的かつ正確に制御することができます。この制御プラットフォームは、露光時間、分解能、プロセスパラメータ、レチクルの動きとアライメント、ウェハステージの精度など、幅広い制御機能をサポートします。直感的なグラフィカルユーザーインターフェイスを備えているため、操作が簡単で効率的です。NIKON NSR-S204Bは、先進的な光学・制御に加え、さまざまなウエハハンドリング機能を搭載しています。直径200mmまでのウェーハ搬送用の電磁チャックや、ウェーハカセットの自動搬入・搬出用のカセットローダーを装備しています。この多目的な単位はまた前処理および後処理の操作のための付属品の選択を含んでいます。これには、ウェーハ歪み（WRA）をチェックするための自動ウェーハマッパー、マッピングおよび登録用のアップダウンモーションテーブル、レーザーアライメント制御用のステッピングコントロールテーブルが含まれます。NSR S 204 Bは、精密ミクロン/サブミクロンのリソグラフィ解像度、自動ウェハハンドリング、直感的なインターフェースを提供する、強力で信頼性の高いウェハステッピングマシンです。マイクロエレクトロニクス、医療機器、オプトエレクトロニクスなどの用途に最適です。