中古 NIKON NSR S204B #293628991 を販売中

NIKON NSR S204Bは、結晶などから次世代の高精度部品を生み出すウェハステッパーです。NIKON NSR-S204Bは、NIKON Advanced Split Field Stereo Lithography （ASFS）技術を搭載し、フォトリソグラフィ露光の速度と精度を向上させています。NSR S 204 Bには、改良されたビーム源、光路、投影光学、および新しいモータードライブが含まれています。この組み合わせにより、優れたオーバーレイ精度と非常に低い非均一性を備えた非常に安定した露出環境が保証されます。NSR S204Bは、0。04 mm （1。6 mils）の薄いスライス結晶で動作するように設計されています。このデバイスはOptiLandスポットサイズが58 µmと小さく、再現性は3 µmです。NIKON ASFS技術は、パターン化された視野を分離し、露出領域全体で優れた露出均一性を提供します。露出場は均一な形状であり、機械的安定性を高め、等しい焦点距離による歪みを排除します。NSR-S 204 Bは露出速度と再現性が向上しています。また、先進的なリモート機器モニタと使いやすいグラフィカルユーザーインターフェイス（GUI）を備えています。NIKON NSR S 204 Bには、パターニング、ステッパーのセットアップ、測定のためのツールが含まれています。NSR-S204Bとともに、お客様には包括的なソフトウェアツールが提供されます。これらのツールは、ハイエンドとローエンドの両方のアプリケーションで効率的な露出を可能にします。NIKON NSR-S 204 Bは、クローズドループの正確なアライメントを可能にする高度な空中画像評価システムを備えています。高度な画像グラデーションと解像度の調整技術により、優れた画質を保証します。NIKON NSR S204Bには、レーザーゴニオメーター/レチキュールが統合されており、非線形パターン構造の高速、二軸アライメントおよびアライメントが可能です。NIKON NSR-S204Bには高度なプロセスコントロールユニットが装備されています。この機械は露出設定およびステッパー変数の容易なオペレータ調節を可能にします。このツールには、ステッパーの動作結果を監視、保存、分析するためのリアルタイムのデータ表示と収集資産も含まれています。NSR S 204 Bは小型で、既存の製造環境に適合するように設計されています。機械は証明されるULおよびセリウムであり、半導体産業の厳密な条件を満たすように設計されています。この機械はまた、化学薬品やフォトレジストの複数の供給を処理するように設計されており、プロセス間の追加ステップを排除します。これらのすべての機能により、このマシンは量産アプリケーションに最適です。