中古 NIKON NSR S204B #293627299 を販売中

ニコンNSR S204Bは、フォトマスク、レチクル、フラットパネルディスプレイ、および高解像度検査基板の製造用に設計された、高性能、ステップアンドリピートウェーハステッパー装置です。最大パターンサイズ12mm x 12mmの0。37nmの精密解像度を備えています。複数のレチキュールを同時に処理できるため、大量のフォトマスク、レチクル、フラットパネルディスプレイの製造に適しています。NIKON NSR-S204Bには、3ミラー投影アライメントシステム、最適化されたスキャンアルゴリズム、画像分割やオーバーラップなし、高度なアライメント保護が装備されています。このユニットで達成された正確なアライメント精度は、完全性とフォトマスク配置段階との非常に簡単なアライメントを保証します。最大限のスループットと生産性を実現するために、S204Bは露出プロセスを高速化し、フィールド領域にウェーハを追加するための高速回転ステージを備えているため、複数のレチクルを同時に露出することができます。これにより、生産の効率と安定性が飛躍的に向上します。このマシンはまた、10倍の内部倍率低減と、検出の画像損失なしで0。75 �m以上のステップ高さを可能にするための焦点深度の拡張から恩恵を受けます。さらに、色収差の補正ツールを使用すると、粗くて細かい調整が可能です。S204Bはまた、高度なエッジ表示技術を提供し、検査プロセスの精度を向上させます。SNRテクノロジーは、非線形を考慮してエッジ情報と形状歪みを測定し、従来のステップアンドリピートステッパーよりも正確な結果を提供します。エラーからオペレータを保護するために、S204Bは作り付けの間違い検出および防止システムを特色にし、生産の間に予期しない干渉か機能不全の適切な処理を可能にします。このアセットには、内蔵のインテリジェントなアライメントも備えており、正確な解像度と迅速な位置決めを可能にします。結論として、NSR S 204 Bは、フォトマスク、レチクル、フラットパネルディスプレイ、および高解像度検査基板の製造用に設計された、高性能で多機能なウェハステッピングモデルです。高度なミラーアライメント装置、強化されたスキャン機能、高速化、検査精度の向上を提供することで、S204Bはあらゆる製造プロセスに不可欠な強力なツールです。このシステムは、画像の完全性を損なうことなく、最高レベルの精度とスループットを提供します。