中古 NIKON NSR S204B #293606906 を販売中

NIKON NSR S204Bウェーハステッパーは、半導体デバイスのミクロンスケールパターニング用に設計された最先端の半導体リソグラフィ装置です。4X還元光学機を搭載したレンズユニット1台を採用し、デバイスのアライメントとパターニングを極めて正確に行うことができます。NIKON NSR-S204Bウェーハステッピングツールは、露出パラメータ、アライメント、アライメント精度の自動調整を可能にする高度なソフトウェアで完全に自動化されています。NSR S 204 Bアセットは、ベースユニット、統合ステッピングコントロールユニット、光源、およびX、 Y、 Z変換を備えた電動ステージで構成されています。ベースユニットには、光学顕微鏡、ステッピングコントロールユニット、モーター、モータドライバ、電源が収納されています。内蔵ステッピングコントロールユニットは、EtherCATプロトコルを介してモータドライバと通信し、ステージの垂直方向および水平方向の動きを制御します。電動ステージには2つのDCステッピングモータが搭載されており、精密なZ軸制御のための垂直リニアサーボモータが搭載されています。ステージの制御可能範囲は、X方向とY方向で100mm x 100mm、 Z方向で5mmです。NSR S204Bで採用されている光源はヘリウムカドミウムレーザーです。このレーザーはスペクトルの紫外領域で光を放出し、サブミクロンレベルに分解能を提供します。レーザーの最大出力はUV領域で15mW、波長は355nmです。このモデルは、対物レンズの相対位置を調整することによって、レーザーのビームの焦点を制御することができます。装置の焦点範囲は回折限界に準拠しており、サブミクロンレベルでの特徴の正確なパターン化を可能にします。ニコンNSR -S 204 Bの特徴は、ウエハハンドリング機能です。ウェーハスピンチャックを搭載し、6インチウェーハの直接取り扱いが可能です。また、ウェーハチャックやクランプも搭載しており、光線に対してウェーハの正確なアライメントを可能にし、全体的なアライメント精度を高めています。正確なパターニング機能と優れたウエハハンドリングに加えて、NSR-S204Bは優れた信頼性と可用性を提供します。このマシンは、長い生産サイクルを実行し、ダウンタイムを最小限に抑えるように設計されています。このツールは、自動モードまたは手動モードで操作することができ、ウェーハの取り出しと位置合わせのずれたウェーハ処理のための真空アセットも含まれています。モデルの統合されたソフトウェアは容易なデータ処理、プログラミングおよび変数調節を可能にします。この機器には、ネットワークアダプタポートとVisual Basicスクリプト言語も含まれており、システムのプログラミングとユーザースクリプトの作成を可能にします。結論として、NIKON NSR S 204 Bは、正確なパターニング機能、自動ウェーハ処理機能、および信頼性の優れた組み合わせを提供します。半導体デバイスの製造・研究に最適なツールです。