中古 NIKON NSR S204B #293606713 を販売中
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ID: 293606713
DUV Scanner
Resolution: 0.18
NA: 0.68
Exposure wave length: KrF excimer
Reduction: 1/4
Expose field: 25 x 33.
ニコンNSR S204Bウェーハステッパーは、フォトマスクやウェーハのリソグラフィーエッチングの複雑なプロセスを処理するために設計された先進的な装置です。このステッパーは、さまざまな材料を使用して、さまざまなサイズや形状の高精度構造を製造することができます。NIKON NSR-S204Bは、様々なプロジェクトに特化した様々なレンズを活用し、高解像度を実現しています。本装置は、5x〜60xの幅広いレンズ範囲に加え、多数の線形補正および円補正機能を備えています。ステッパーはまた露出の間に版を回し、締め、また加速を償い、エッチングの精度そして精密を更に改善します。NSR S 204 Bは光学系とモーションコントロールシステムに加えて、高性能アライメントユニットを備えています。この高度なアライメントマシンは、3つのレーザービームを使用して、ステッパーが正確に調整されていることを確認し、ステッパーが最低限のずれでウェーハを処理できるようにします。NSR S204Bにはストリームアライメントプロセスも搭載されており、ウェーハ位置のずれをすばやく特定、通知、調整できます。NSR-S204Bには、高解像度カメラを使用した欠陥検査ツールも内蔵しています。このアセットは、表面またはウエハーの深さの欠陥を検出して識別することができ、処理または除去する必要があります。カメラはまた、さまざまな光強度に調整することができますステッパーは、さまざまな厚さと密度のウェーハをスキャンすることができます。NIKON NSR-S 204 Bは、先進的な光学系およびモーションコントロールシステムに加えて、オペレータに最適な作業条件を確保するために、いくつかの安全および環境システムを提供しています。このステッパーは、真空チャンバーと真空センシングシステムを使用して、チャンバー内の空気圧を絶えず監視および調整し、ほこりやその他の粒子からの汚染を防ぎます。それはまた部屋内の空気がきれい、花粉、塵および他の粒子から自由であることを保障するのに複数の地帯のエアフィルターの技術を使用します。全体として、NIKON NSR S 204 Bウェーハステッパーは、あらゆるプロジェクトにおいて正確かつ正確な構造を作り出すことができる高度な装置です。高度な光学系、モーションコントロール、アライメントモデル、内蔵欠陥検査システムを組み合わせることで、生産者は業界の要件を満たす高品質の製品を生産することができます。NSR-S 204 Bは、ウェハエッチング用途に最適なソリューションです。
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