中古 NIKON NSR S204B #293598414 を販売中

NIKON NSR S204Bは、半導体IC製造に最適な高精度、ステップ、リピート露光装置です。MEMS、 TSV、 3D IC、高度なリソグラフィープロセスなど、さまざまなICパッケージングプロセスに最適です。このS204Bは、高いスループットを実現する高度な光学システムと、複数のウエハサイズに対応できる視野を備えています。4面のテーブルトップデザインに基づいており、4つの露出ステーションを備え、最大4インチのウェーハを一度に4台まで収容できます。ステッパーは、業界をリードする解像度4。0umで、最大フィールドサイズは33mm x 33mmです。フレキシブルレチクルサイズをサポートし、最大100mmのレチクルマスクに対応できるレチクルステージを備えています。また、さまざまな互換性のあるマスクやレンズを使用して、深紫外線（DUV）や浸漬リソグラフィをサポートすることもできます。このマシンは、高信頼性と高速サーボモータユニットを備えており、最大150Wの電力を備えています。高精度アライメントマシンを搭載し、再現性は0。25um、精度は0。4um。最大スキャン速度はX/Y方向で15。2スキャン/秒、軸加速度は最大15。25Gです。また、露光時間を長くするための優れた安定性と信頼性を提供します。それに機械が涼しくとどまり、露出区域の安定性を最大限に活用することを保障する統合されたスリラーがあります。また、チラーは熱膨張の影響を軽減するのに役立ち、S204Bは最大40°Cの温度に耐えることができます。S204Bには、高い生産性を確保するためのさまざまな機能が装備されています。自動化されたウェーハのローディングとアンロード・システムは、手作業の労力を削減し、スループットを向上させます。また、レチクルの焦点を数秒で微調整するために使用できる高速な内部焦点調整ツールも備えています。さらに、このマシンはリモート診断とカスタマイズ可能なユーザーインターフェイスを提供しており、ユーザーは技術者を必要とせずにリアルタイムでマシンを維持および監視することができます。結論として、NIKON NSR-S204Bは、高いスループット、精度、柔軟性を提供できる強力で信頼性の高いステッパーです。この機械は、幅広い半導体IC製造プロセスに使用でき、その優れた速度と精度により、高度なリソグラフィープロセスに最適です。