中古 NIKON NSR S204B #293595741 を販売中

ニコンNSR S204Bは、リソグラフィおよび露光処理の速度と精度を最大限に高めるために設計された世界クラスのウェーハステッパーです。このステッパーは、高度な露光技術と統合された計測技術を組み合わせて、高精度と最小限の廃棄物で迅速なフォトマスク製造を可能にします。この製品は、半導体関連製品を製造するための信頼性の高いユーザーフレンドリーなシステムを提供します。NIKON NSR-S204Bステッパーは、3軸光素子の先進的な設計により、イメージングの速度と精度に優れています。FESEMIS （Fabrication Equipment Subsystem for Equipment Interface Standard）は、検査システムや材料移動装置など、さまざまな機器と統合するための柔軟なインターフェースを提供します。FESEMISは幅広いイメージングフォーマットをサポートし、8インチおよび12インチのウェーハのステッパー操作を可能にします。ステッパーには、オブジェクトレンズ、フィールドレンズ、照明レンズ、コレクションレンズの4つの主な統合光学要素があります。対象レンズは、0。35から0。5までの広い数値開口部（N。A。）をカバーし、歪みが少なく、真の焦点傾きや変位補正が可能です。フィールドレンズは平らなフィールドを提供し、照明と収集レンズは高度な点回折干渉（PDI）技術を使用して構成されています。この特徴の組合せは低いゆがみおよび低い場の曲率の高精度のイメージ投射を保障します。NSR S 204 Bステッパーは、マスクプロセスを正確かつ正確に制御できる包括的な機能を備えています。これらには、露光品質とスループットを最適化する高解像度登録（HRS）および光学電源制御（OPC）機能が含まれます。HRS機能により、レイアウトパターンとデバイスのフィールドを正確かつ正確に配置できます。一方、OPC機能により、ステッパー上でグローバルおよびローカルの変更を監視および最適化できます。これにより、高解像度マスクの正確なイメージングが保証され、ライン分解能マスクの優れた精度が保証されます。さらに、ステッパーは、レポート、ロギング、ワークロード制御など、メンテナンスおよび運用管理を支援するための複数の機能を提供します。NSR-S 204 Bステッパーは、全体的に最先端のウェーハステッパーソリューションです。スピード、精度、安定性に優れ、高精度、高スループットのフォトマスク加工プロセスに最適です。統合された光学技術と計測技術を組み合わせ、製品の包括的な機能と機能を組み合わせたNSR S204Bは、半導体メーカーにとって理想的なステッパーとなります。