中古 NIKON NSR S204B #293594683 を販売中
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NIKON NSR S204Bは、高度な超小型デバイスとマイクロエレクトロニクスの要件を満たすように設計されたイマージョンスキャナーウェーハステッパーです。高度なアライメント装置と、高解像度で均一なフォーカスを提供しながら、200mm （7。87インチ）までの大きな基板と正確な動きを処理する能力を備えています。NIKON NSR-S204Bは、最大200mmの大型基板サイズ、コンパクトなサイズ、4つのウェーハ/レチクルを同時に移動できるステージを備えたエンドステーションを備えています。また、ウェハハンドリングのステージ設計も改善されています。ウェハステッパー設計は、小さな視野スティグマティックイメージングオプティクスを備えた単一のソースシステムで、より細かいアライメント精度を実現します。光学ズームユニットは、0。60xから0。80xまでの広い範囲のビューを持っています。また、作業距離が長く、振動のないスキャン機、正確な制御のためのウエハハンドリングツールを備えています。NSR S 204 Bアセットは、レーザー干渉パターン（LIP）投影照明を備えたスティグマティックイメージングオプティックレンズと、自動レチクルアライメントモデルを使用しています。作業距離が長く、微細なラインパターンにも対応可能な高解像度イメージングが可能です。この装置は、高さ300mm （11。8インチ）までの複数のショットフィールドをスキャンし、全長2000mm （78。7インチ）までスキャンできます。NIKON NSR-S 204 Bは、25°C （77華氏）までの低温露出を実現し、高度なレジスト加熱制御により均一なレジスト厚を実現します。ウェーハステッパーは非常に信頼性が高く、高い歩留まり率（95％）と低いダウンタイムを提供します。また、最大スループットは4000（8インチ）のウェーハ/時間で、高スループットを実現しています。また、高解像度、高精度、再現性に優れ、微細なラインパターンにも対応できる高い生産性を有しています。全体的NSR-S204B、ウェーハステッパーは信頼性が高く、高スループットで、高精度を提供します。これは、高度な超小型デバイス製造およびマイクロエレクトロニクスアプリケーションに最適です。高解像度、大型基板サイズ、小型のスティグマティックイメージング光学NSR S204Bにより、優れた画像処理結果と比類のない再現性を提供できます。
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