中古 NIKON NSR S204 #9247366 を販売中

NIKON NSR S204は半導体産業で使用するために設計された高度なウェーハステッパーです。パワフルで高精度な5Xプロジェクションレンズと大きなウェーハステージを使用して、露出パターンを半導体ウェーハに正確に配置します。このウェーハステッパーは、66 x 66mmの印象的なフィールドサイズと0。042 μ mの最小機能サイズを備えており、最も厳しい半導体製造要件を満たすことができます。NSR S204は、生産性を向上させ、ダウンタイムを短縮するように設計された完全自動化システムです。ビューの選択、パターンデータの最適化、露出スキャン、モニタリング、MEMS （Micro- electromechanical Unit）シャッターキャリブレーションなど、完全なプロセスに革新的なソフトウェアソリューションを利用しています。また、ウェーハアライナー、画像データ解析機、その他の周辺機器など、さまざまなデバイスとの接続も可能です。ウェーハステッパーは2ショット露出モードを使用しており、ウェーハ上のパターンを非常に正確かつ正確に撮影することができます。この技術は、最も複雑なパターンでも正確かつ最大限のディテールで再現することができます。さらに、NIKON NSR S204は、特許取得済みの独自の誤り訂正アルゴリズムを採用し、ステージの不正確さ、環境の歪み、その他のエラー原因の影響を最小限に抑えます。このツールは、スキャン位置検出器（SPD）とステージとウェーハの動きのアライメント用の位置検出器（APD）など、さまざまなセンサーとカメラによって駆動されます。また、NSR S204は、最適な照明のための光源とランプの高度な資産を備えています。さらに、特殊な多層ろ過により、粒子汚染と露出ノイズの両方を低減します。NIKON NSR S204は、ユーザーの安全性と利便性を最大限に高めるため、ステージ移動用インターロックやキー操作などの堅牢な安全機能を備えています。また、直感的なユーザーインターフェイスを備えており、拡張性とアクセシビリティを強化するためのリモート操作をサポートしています。装置は最高の耐久性のために設計され、厳しい環境条件に耐えることができます。結論として、NSR S204は、高精度のウェーハステッピングシステムにとって優れた選択肢です。