中古 NIKON NSR S204 #9243689 を販売中

NIKON NSR S204は、半導体製造のために設計された高性能ウエハステッパーです。NIKON独自のアレイマイクロスキャン（AMS）技術を使用して、正確で高スループットウェーハスキャンを実現しています。NSR S204は、高解像度、高速動作、および包括的なオートマタ監視および制御装置を備え、先進的な半導体製造プロセスに最適なソリューションです。NIKON NSR S204は、フォトマスクの最小線幅を縮小し、高精度のウェーハパターンを作成することができます。これは、ライティング操作を制御、校正、および監視するための統合された洗練されたソフトウェアで可能になります。ステッパーは、精度と高速スキャンを確実にするためにエンコーダによって安定化された頑丈な多軸マイクロポジショニングシステムを備えています。NSR S204は、産業用グレードのフレーム内に含まれ、厳しい工場環境に耐えるように設計されています。NIKON NSR S204は、1つのウエハにつき最大2,400万画素の高解像度画像を作成し、オフチップラグを発生させません。コントローラボードのマルチカスケード電圧回路により、リニア電圧とノンリニア電圧をリアルタイムで変更できます。また、内蔵のオートフォーカス・ユニットにより、ウェーハ表面が完全に整列したままになります。NSR S204の露光機は、望ましいウェーハパターンに基づいて多色光を放射するレーザダイオードアレイを備えています。コンピュータプログラムによって、露出コントローラは各レーザー色に特定の値を設定します。これにより、異なる露光時間に正確な接触パターンが作成され、多層イメージングとパターニングが可能になります。NIKON NSR S204は、高精度オプティクスに加え、インテリジェントなウエハハンドリングツールであるSmartlineを搭載しています。Smartlineは、プラテン上の各マスクウェーハを識別し、処理中にそれぞれをインテリジェントに再配置するための強力なアルゴリズムを採用しています。これにより、振動によるずれや突然の動きに関係なく、ウェーハが一貫して露出します。また、誤認識エラーの低減にも役立ちます。要するにNSR S204は、高度で高精度なウェーハステッパーであり、高スループット、統合されたプロセス制御、効率的なウェーハハンドリングアセットを提供します。精密なイメージングを必要とする半導体チップメーカーやその他の研究用途に最適です。