中古 NIKON NSR S204 #9241845 を販売中

ニコンNSR S204は、マイクロエレクトロニクスおよび半導体産業の製造および研究用に設計されたウェハステッパーです。マイクロエレクトロニクスマイクロストラクチャーや回路基板の精密パターニングに最適化された特殊なステップとリピートツールです。NSR S204は、2次元パターンジェネレータを使用して、基板上に必要なパターンを作成します。ビーム光学、電子ビームリソグラフィ、光学イメージングレンズの組み合わせを使用しています。電子ビームは、高電流ガンによって生成され、一連の焦点要素を使用して、ターゲット表面に向かって形状と操舵されます。これにより、17nmまでの機能サイズのナノスケール機能が作成されます。作成されたパターンは、統合されたチップ設計のためのマイクロストラクチャーを作成するために使用できます。ニコンNSR S204は、ウェーハパターンの均一性と登録精度が高い規格です。特許取得済みのツイントラックスキャンシステムにより、すべてのウェーハサイズにわたって高い均一性を提供します。また、より大きなウェーハを扱うときの正確さを確保するために、ステップ蓄積とユニークなツイントラックスキャンフィールドオーダーを持っています。NSR S204のステップとリピートモードにより、製造プロセス内のスループットを最大化するフィールドサイズを微調整できます。このウェーハステッパーは、ウェーハサイズ、エクスポージャー、フィーチャサイズなど、幅広いプロセスパラメータを備えています。また、高温および低温プロセスにも対応できます。最大3ウェハ/時間のスループットと5〜7nmの精度を備えています。-7°C〜+50°Cで動作し、電源電圧は110V/20A 50-60Hzです。ミラーシステムは、電子ビームとの振動干渉を最小限に抑える5軸の機能を備えています。ニコンNSR S204は、ウエハレベルパターニングに使用され、優れたパターン品質と均一性を実現します。精密パターニング機能により、高度なリソグラフィおよびオプトエレクトロニクスデバイスプロセスに最適です。ウェーハステッパーは、最小の歩留まり損失で正確にマイクロストラクチャーを製造する費用対効果の高い方法を提供します。