中古 NIKON NSR S204 #9225054 を販売中

NIKON NSR S204
製造業者
NIKON
モデル
NSR S204
ID: 9225054
KrF Scanner.
NIKON NSR S204ウェーハステッパーは、シリコンウェーハダイシングの精度と能力に革命をもたらした、ユニークな機械です。このマシンは、精密光学系、精密モーターパッケージ、および精密にチューニングされたソフトウェアツールを組み合わせた、高解像度、高速イメージングシステムです。そのため、非常に微細な特徴サイズ(50ミクロン以下)を見事な精度で製造することができます。NSR S204 Wafer Stepperは、スキャンステージと呼ばれる独自の光学素子を使用しています。この段階では、各シリコンウェーハを完全な視野にわたって正確に配置および方向付けすることができます。次に、X、 Y、 Z軸の各ウェーハをラスタースキャンして、エッチングまたはドリルの所望のパターンを作成します。高度な画像処理システムは、画像データをデジタル化して調整し、データポイントとフィーチャーサイズを適切に登録します。また、光源を使用して、精密イメージングに必要なバックライトを提供します。ニコンNSR S204は、正確性を確保するため、固定ステージと可動ステージの2種類のウェーハハンドリングシステムを採用しています。スキャンステージに取り付けられた固定ステージは、画像のスキャンが進むにつれてウェーハを静止させ、精度を維持するように設計されています。一方、可動ステージは電動アクチュエータに取り付けられており、ウェハをイメージングプロセス全体にわたって移動および位置決めすることができます。これにより、機能のサイズとポイントのパターンがプロセス全体にわたって一貫していることが保証されます。NSR S204 Wafer Stepperのイメージングおよびダイシング操作には、パターン回転とアライメント補正、非線形画像補正、イメージオーバーレイ機能などの機能を備えた堅牢なソフトウェアパッケージが搭載されています。これにより、必要に応じてパラメータと公差を調整し、ピークレベルでの動作速度と精度を維持できます。さらに、このマシンはまた、複雑なパターンやチャネルを作成するために使用することができ、3Dレーザー切断などの高度なツールを提供しています。NIKON NSR S204ウェーハステッパーは、シリコンウェーハアプリケーションの高度な生産とプロトタイピングに最適な機械です。その優れた精度と速度により、精密ウェーハダイシングおよび関連アプリケーションに最適なマシンとなります。NSR S204 Wafer Stepperは、使いやすいソフトウェア、高度な画像処理、さまざまなウエハハンドリングオプションを備え、現代の半導体業界のダイシングのニーズに対応する強力で信頼性の高いソリューションです。
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