中古 NIKON NSR S204 #9204029 を販売中

NIKON NSR S204は、要求の厳しいアプリケーション向けに設計された高度な機能とコンポーネントを備えた最先端のウェーハステッパーです。このフルフィールドウェーハステッパーは、高度な半導体プロセスで使用される大量のリソグラフィや、幅広いパターンサイズと形状のウェーハ製造プロセスに最適です。NSR S204は、数多くの最先端のコンポーネントを備えており、比類のない性能と精度を提供します。高速かつ正確なPASスキャンのための高性能、高分解能スキャナーヘッド、および各ウェハの金型歩留まりを向上させるための高生産性アライメント装置を備えています。また、レンズ性能を向上させ、露出均一性を向上させるように設計された最先端の照明光学系も備えています。ニコンNSR S204は、生産性を高めるために設計された多くの機能も提供しています。ウェーハ基板のバッチ積み降ろしを高速かつ簡単に行うことができる完全自動ロボットインターフェイスと、マスクとウェーハの正確かつ正確なアライメントを提供する強力な多軸ステージシステムが含まれます。さらに、高解像度の陰極線管ディスプレイを備えており、ユーザーはユニット全体のパフォーマンスと解像度を監視することができます。NSR S204は、厳しい半導体プロセスのニーズに応えるように設計されており、耐熱性と環境負荷に耐える耐久性のある構造で構築されています。使用時に発生する熱を分散させる冷却装置を搭載し、空気とガスの流れのための2つの経路を内蔵して設計されています。さらに、NIKON NSR S204にはさまざまな高度なソフトウェアパッケージが付属しており、オペレータはステッピングツールを迅速かつ簡単に監視、調整、制御することができます。また、NIKONオートフォーカス制御ソフトウェアも搭載しており、コンソールからフォーカス設定を調整することができます。また、基板の動き、露出、補正パターンを監視することができます。NSR S204は、高度で信頼性の高いウェーハステッパー資産を探しているあらゆるウェーハ製造施設にとって究極の選択肢です。高性能コンポーネント、高度な機能、効果的なソフトウェアパッケージを備えたニコンNSR S204は、リソグラフィの卓越性を達成するための最適なツールです。