中古 NIKON NSR S203 #9315286 を販売中

ニコンNSR S203は、高精度リソグラフィ用途向けに設計された高性能ウエハステッパーです。このデバイスには、4軸、6軸、または7軸のステージモーション機器が装備されており、非常に高解像度の0。5nmを実現しています。このシステムは、ウエハサイズや基板の寸法の変化に合わせて調整できるように設計されています。NSR S203は、長寿命ランプを内蔵したデュアルビームリソグラフィーユニットで、幅広い波長に回折制限付き照明を提供します。ニコンNSR S203は、高いスループットスキャンとサブミクロメータ精度を実現するために、独自の技術を多数採用しています。Self-Triggering Frame Inserter （STFI）マシン、Scan Control AutoTune （SCAT）ツール、およびエアベアリングステージのモーションコントロールアセットが含まれます。STFIモデルは、直径8インチのレチクルで最高性能のスループットを保証し、レチクル交換全体で高精度を保証します。SCAT装置はスキャンパラメータを即座に調整することで正確なスキャンを保証しますが、エアベアリングステージのモーションコントロールシステムは高速コントローラを使用してステップとリピートスキャンモードを可能にします。NSR S203には、プリントアライメントと計測ソリューションのフルセットも装備されています。このデバイスは、アライメントカメラと低消費電力のVision Inspection Unit （VIS）と統合されており、相関のないパターンのアライメントを提供し、印刷パターンの監視を支援します。VISは、オーバーレイエラー、ライン幅、形状測定、および2Dおよび3D表面粗さ測定の検出を支援します。さまざまな校正アルゴリズムを使用して、プロセスの精度を向上させ、オーバーレイエラーを低減します。NIKON NSR S203は、ステッパー全体の性能と精度を向上させる高度なリソグラフィ最適化アルゴリズムも備えています。この最適化アルゴリズムは、高度なソフトウェアを使用してプロセスに最適な露光パラメータを自動的に決定し、デバイスの歩留まりと細かいパターニング性能を向上させます。このマシンはまた、さまざまなパターニングツールを提供し、無駄なウェーハやリソグラフィの欠陥を最小限に抑えるのに役立ちます。NSR S203は、高精度リソグラフィ用途向けに設計された高性能ウェーハステッパーです。高いスループットスキャンとサブミクロメータ精度を実現するために、さまざまな独自技術を搭載しています。このデバイスは、パフォーマンスと精度を最大化するために、リソグラフィ最適化アルゴリズムと同様に、多数のプリントアライメントおよび計測ソリューションとさらに統合されています。