中古 NIKON NSR i9 #293586905 を販売中

NIKON NSR i9は、大口径の半導体基板の表面を、欠陥を最小限に抑えて正確かつ再現的にパターン化できる最先端のウェハステッパーです。コンパクトでありながら高性能なパッケージでスループット、解像度、コストを巧みにバランスさせます。NSR i9は、レーザー干渉計と航法装置に4レンズ投影光学式を採用しており、直径8インチまでの基板上の32ナノメートルの欠陥を可能にします。これは、システムの前任者を上回る2つの改善です。干渉計は、ウェーハの位置決めにおいてサブナノメートルレベルの精度を可能にし、ナビゲーションユニットは、ウェーハにウェーハのアライメント精度を可能にします。NIKON NSR i9フレームセットには、顕微鏡の解像度を同時に向上させる脱磁レンズと、視野を拡大したズームレンズを搭載し、基板位置とは独立した移動ターゲットに細かい焦点を合わせています。NSR i9の他の機能には、すべてのプロセス波長でフルスペクトルの光を発することができる強化されたレーザーマシン、それぞれ1。2 umから0。1 umの超低静的およびダイナミックなスタンドオフギャップがあります。NIKON NSR i9は、乾燥チャンバーと液浸チャンバーのレシピの両方に対応する完全に統合されたチャンバーなどの最先端の機能も提供しています。 軽量設計の光学部品の統合されたカプセル封入、 潜在的な欠陥を識別するための多層視野のデジタル顕微鏡、 基板処理時間を最小限に抑え、マッピング品質を向上させる自動ツールと設定、 繊細で貴重な基板の安全性を同時に保ちながら、 NSR i9は、サブnm精度で直径8インチまでのウェーハをパターン化できます。